摘要
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:dTz 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Ep}s}Stlr} _G0x3 建模任务
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3HfQ 7d vnupLh 1阶的
参数优化
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5X+A"X
;C dRDnJc3 结果-容差分析
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ww/Uzv 6nQq 结果-容差分析
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f5r0\7y0 D]}G.v1 在
VirtualLab Fusion中查看
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kP"9&R`E "}!G!k: VirtualLab Fusion的工作流程
7L??ae =Uh$&m •构造光栅结构
Jb(H %NJ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
#S(Hd?34, - 倾斜光栅的高级配置[用例]
KSvE~h[#+ •分析光栅衍射效率
G2Zer=rC - 光栅级次分析器[用例]
OYd !v`< •使用参数优化优化光栅参数
OCUr{Nh •使用参数运行进行容差分析
'%D7C=;^ - 参数运行文档的用法[用例]
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(?c-iKGc ] @'!lhLi VirtualLab Fusion技术
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