摘要
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D<k G^)]FwTs 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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EWDsBNZaI 49*f=gpGj2 设计任务
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x!GDS> ?{TWsuP7 1级
参数优化
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^<-C. 结果-容差分析
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y+iRZ%V^ =A6*;T"W 结果-容差分析
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e5bXgmyil n}Z%D-b$ VirtualLab Fusion一瞥
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n`Pl:L*kG 85&7WAco"B VirtualLab Fusion中的工作流程
?+hEs =Xs Jp"29
)w 构建光栅结构
eWv:wNouk −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
[ x{$f7CEh −倾斜光栅高级设定[用例]
i.6 b% •光栅衍射效率分析
G$Mf(S'f −光栅阶序分析器[用例]
!8UIyw •使用参数优化进行光栅参数优化
GZaB z#U •使用参数运行的容差分析
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s*gqKQ; B`eK_'7t VirtualLab Fusion技术
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