[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 4yhcK&  
P>|Ef~j  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 {Wh BoD  
Vw7WK  

图片:1-19110G51512293.png

:|=- (z  
:u AjV  
设计任务 g2A"1w<-AH  
l4zw]AYk+X  

图片:1-19110G51541c6.png

6I"C~&dt  
r-*l1([eW  
1级参数优化 |"_)zQ  
)x)gHY8;  

图片:1-19110G516302b.png

:fhB*SYK  
t]4!{~,  
结果-容差分析 =ydpU<aS  
&u("|O)w$  

图片:1-19110G51HWc.png

!F-sA: xq  
_OLI%o  
结果-容差分析 PaNeu1cO  
W|0My0y  

图片:1-19110G51K2c1.png

FQ1arUOFW,  

 Ll?g.z"  
VirtualLab Fusion一瞥 @bE~@4mOu  
$ND90my  

图片:1-19110G51Q9D8.png

b1H7  
uQWp+}>ZJy  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ERp{gB2U?  
K0LbZMn,/  
构建光栅结构 9?$RO[vo  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ;|;iCaD a+  
−倾斜光栅高级设定[用例] {-J:4*`  
•光栅衍射效率分析 Wy8,<K{  
−光栅阶序分析器[用例] 4Mi~1iZj  
•使用参数优化进行光栅参数优化 zx7#)*  
•使用参数运行的容差分析 RNvQ  
zs0hXxTY:  

图片:1-19110G51933119.png

] ;&"1A  
/e .D/;]  
VirtualLab Fusion技术 V\"1wV~E  
RvR:e|  

图片:1-19110G52045463.png

a&N%|b K  

了解一下光栅。