摘要
iN><m| h"'f~KM9a> 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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J@5 OZFMZ sPw(+m*C 设计任务
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参数优化
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{8 "gO5dZ\0 结果-容差分析
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F+uc5 VirtualLab Fusion一瞥
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H1]\B: $CmTsnR1#y VirtualLab Fusion中的工作流程
A3n"zxU e=_hfOUC 构建光栅结构
#59zv= −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
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msWuF −倾斜光栅高级设定[用例]
[=Z{y8#:J •光栅衍射效率分析
Ua]zTMI −光栅阶序分析器[用例]
*E]\l+]J •使用参数优化进行光栅参数优化
NSq"\A\ •使用参数运行的容差分析
<'-me09C* `g=~u{0
,b4&$W]. 0 Yp;?p^ VirtualLab Fusion技术
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