摘要 y^]tahbo
CRbdAqofV
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Hcc"b0>}{
E~LTb)
!
VXR]"W=
Xn~I=Ml d
设计任务 lo'W1p
' oFxR003
_z[#}d;k
#GJ
dZ
1级参数优化 QXF
aAb=(7
v\`9;QV5
;Jd3u
-
)P7)0c
结果-容差分析 erVO|<%=R
UX]L;kI
N?X^O#[
5MzFUv0)
结果-容差分析 P;pl,~
3=W!4
%%cHoprDa
-48vJR*tC
VirtualLab Fusion一瞥 g#]wLm#
%r4q8-
Tr^nkD{
4e;QiTj
VirtualLab Fusion中的工作流程 R0oKbs{
;W>Y:NCrp
构建光栅结构 Z@Ae$ '9H
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] t'm;:J1
−倾斜光栅高级设定[用例] ^[15&T5
•光栅衍射效率分析 nNXgW
−光栅阶序分析器[用例] oA1a /[#
•使用参数优化进行光栅参数优化 #M A4
•使用参数运行的容差分析 vky .^
fr!Pj(Q1
GJqE!I,.
b~-%c_
VirtualLab Fusion技术 xUfbW;;]UU
|pa$*/!NT
sZ?mP;Q