摘要
m54>} k;^$Pd?t 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Lng. X8D 94w)Yln
]AYP\\Xi A`uHZCwJ5 设计任务
C][$0 j,.M!q]
zcP=+Y)YA O.+J%], 1级
参数优化
dy_Uh)$$|g 'JOCL0FP
Z{B
e ?"Ez 结果-容差分析
$BdwKk
!k 1%v6d
!
gk|>E[. qKD 结果-容差分析
or*{P=m+R jc"sPr v5
"kP,v&n $bG*f*w VirtualLab Fusion一瞥
J]U_A/f
)c4tGT<
?SNacN@r <W#G)c0 VirtualLab Fusion中的工作流程
-*k2:i` ~s+vJvWz 构建光栅结构
bh@Ct nO −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Yk|6?e{+) −倾斜光栅高级设定[用例]
b,^ "-r •光栅衍射效率分析
=_`q;Tu= −光栅阶序分析器[用例]
jQV[zcM •使用参数优化进行光栅参数优化
TX=894{nGh •使用参数运行的容差分析
@MOQk qGA|.I9,
j{Px}f(= ms0V1` VirtualLab Fusion技术
P4#i]7% ~6;I"0b5
{rcN_N%