摘要
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A+ eE/%6g 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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q:HoKJv4 GG'Sp53GE 设计任务
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,R-Y~+! X#+`e+Df 1级
参数优化
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A.a 结果-容差分析
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O5 7jz= r 6;uBZ&g 结果-容差分析
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o G_~3Kt dB|Te "6 VirtualLab Fusion一瞥
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{>.>7{7 GMFc K= VirtualLab Fusion中的工作流程
iAz UaF B {i&~k 构建光栅结构
z(d4)z 8'6 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
8SD}nFQ −倾斜光栅高级设定[用例]
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Lk"tW •光栅衍射效率分析
O=O(3Pf> −光栅阶序分析器[用例]
V}`M<A6: •使用参数优化进行光栅参数优化
P6OM)>C •使用参数运行的容差分析
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c=t*I0-OVS @bQ!zCI VirtualLab Fusion技术
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