摘要
/~;!Ew|q @Y.r ,q 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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ns\I Y<Yo /)K;XtcN 设计任务
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coPdyw'9& Q_iN/F 1级
参数优化
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1R&F 结果-容差分析
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I''n1v?N <pHm=q/U VirtualLab Fusion一瞥
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M1#CB @0t[7Nv-1 VirtualLab Fusion中的工作流程
.%.7~Nu, +0Q +0: 构建光栅结构
mF+8Q −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
,t wB" * −倾斜光栅高级设定[用例]
$^?VyHXvY •光栅衍射效率分析
A9K$:mL<2 −光栅阶序分析器[用例]
#Y'b?&b •使用参数优化进行光栅参数优化
9Sd?,z •使用参数运行的容差分析
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=l*xM/S Tt{z_gU6 VirtualLab Fusion技术
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