摘要
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*USN }'h\;8y 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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/`7G 7pQ+ YOtzja]~ 设计任务
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9} ]C Or-LQ^~ 1级
参数优化
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4hW:c0 x6Q_+!mnk 结果-容差分析
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+d3h @gp #2%8@?_-M VirtualLab Fusion一瞥
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F`o"t]AD-a Nb\B*=4AR VirtualLab Fusion中的工作流程
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;z~j%L%b 构建光栅结构
~2QD.( −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
rC6EgWt<V −倾斜光栅高级设定[用例]
TZarI-A •光栅衍射效率分析
XKvH^Z4h{l −光栅阶序分析器[用例]
kM3#[#6$! •使用参数优化进行光栅参数优化
YyC$\HH6 •使用参数运行的容差分析
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svMu85z J n'SGR VirtualLab Fusion技术
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