摘要 .)tQ&2
+!u9_?Tp
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 x} =,'Ko}3
WVyDE1K<
{D8opepO)
~s&r.6DW
设计任务 \"ogQnmz
T4:H:
MRz f#o<H
EgG3XhfS
1级参数优化 $MDmY4\
}5PC53q
/F.<Gz;w
-sv%A7i
结果-容差分析 ,$t1LV;o=
392(N(
cRKLyb
.^A4w;jPU
结果-容差分析 &V
axv$v}
#Db^*
Q3i\`-kbb
JG^GEJ
VirtualLab Fusion一瞥 pSQX
jjH2!R]^>
fPTLPcPP
_}47U7s8
VirtualLab Fusion中的工作流程 `%[m%Y9h
#7 H0I8
构建光栅结构 -,*m\Fe}
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] p}==aNZK
−倾斜光栅高级设定[用例] h(@.bt#
•光栅衍射效率分析 kJB:=iq/x$
−光栅阶序分析器[用例] j{FRD8]V
•使用参数优化进行光栅参数优化 \h[*oeh
•使用参数运行的容差分析 en|~`]HF
fCu;n%
5+{oQs_
j8Q_s/n
VirtualLab Fusion技术 6miXaAA8
Tr>_R%b K
<
`;Mf>V