摘要 SB$~Btr
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对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 (c(?s`;
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设计任务 QXXcJc~
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1级参数优化 8 ehC^Cg
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结果-容差分析 Bm~>w`1wK
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结果-容差分析 dW:
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VirtualLab Fusion一瞥 l#Qf8*0
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VirtualLab Fusion中的工作流程 -09<; U
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构建光栅结构 n`^</0
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] $f)Y
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−倾斜光栅高级设定[用例] aP"i_!\.aa
•光栅衍射效率分析 ]0`[L<_r
−光栅阶序分析器[用例] Z.h`yRhO
•使用参数优化进行光栅参数优化 @]2cL
•使用参数运行的容差分析 ipU"|{NK
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VirtualLab Fusion技术 2V~Yb1P
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