摘要
_^\$" nw RiR:69xwR* 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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b/F - 设计任务
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rG 1级
参数优化
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.C bGDZ p#@Z$gTH`' 结果-容差分析
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c 结果-容差分析
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s;1h-Oq ( d,cN( VirtualLab Fusion一瞥
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..<3%fL3 :}q\tNY< VirtualLab Fusion中的工作流程
i7Z =|& Ee2c5C!|C 构建光栅结构
K@:m/Z}|4 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
z@VP:au −倾斜光栅高级设定[用例]
F n|gVR •光栅衍射效率分析
<{J5W6 −光栅阶序分析器[用例]
w4:\N U •使用参数优化进行光栅参数优化
jC, FG'P •使用参数运行的容差分析
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eon!CE0 e@]Wh) VirtualLab Fusion技术
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