摘要
Qsji0ikG x`L+7,&n 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
'$6PTa R{`gR"*
NWaO_sm lRH0)5` 设计任务
;W~4L+e & g$rrpTzv
t)'dF*L ^/<|f,2 1级
参数优化
ONfyYM? 4m\([EO
{$|/|* #D0W7a 结果-容差分析
`)2[ST ll2Vk*xs
@ t|3gF$X K"^cq~ 结果-容差分析
A_i zSzC1 70=(.[^+
fp tIc#4 l?<q
YjI VirtualLab Fusion一瞥
W0|_]"K- F9O`HFVK
BjvdnbJg #<]Iz'\` VirtualLab Fusion中的工作流程
vnZ4( \j:AR4 构建光栅结构
2NYi-@mr −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
vzcz<i ) −倾斜光栅高级设定[用例]
Uuz?8/w}# •光栅衍射效率分析
Q.1XP −光栅阶序分析器[用例]
MX?}?"y •使用参数优化进行光栅参数优化
pl?kS8#U? •使用参数运行的容差分析
m3luhGn 3>M.]w6{
iJ4<f->t lz}llLb1 VirtualLab Fusion技术
gwJ}]Tf \imp7}N
)WmZP3$^TX