摘要
h=0a9vIXF 2Kf/I d1 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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!6 L!%Oi 1*yxSU@uY 设计任务
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参数优化
Y+UJV6 B,cFvS
Ny^f'tsA K6t"98 结果-容差分析
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c)LG+K 4U\}"Mk 结果-容差分析
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^hiY6N & Gk{ 'U VirtualLab Fusion一瞥
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C@6:uiT$ @b,H'WvhfS VirtualLab Fusion中的工作流程
.@E5dw5 XZ~kXE;B( 构建光栅结构
dI
,A;. −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
a1~|?PCbY −倾斜光栅高级设定[用例]
rP3tFvOH •光栅衍射效率分析
1oej<67PdJ −光栅阶序分析器[用例]
hqvhnqQk •使用参数优化进行光栅参数优化
~c35Y9-5 •使用参数运行的容差分析
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W|m(Jh[w] Ku l<Q< VirtualLab Fusion技术
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