摘要
B`fH^N ?v:ZU~i 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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25
J!{Al (&jW}1D 设计任务
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#)o7"PW: #uSK#>H_! 1级
参数优化
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3e AEY$@!8
4WC9US-k wJe?t$ac? 结果-容差分析
=. *98 re^Hc(8M
)tS-.P rA- kbYeV_OwM 结果-容差分析
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' VirtualLab Fusion一瞥
Ha%F"V* lT'9u,6
r3qf[?3`6 Gh}yb-$N`& VirtualLab Fusion中的工作流程
0w %[ UL(
lf}M 构建光栅结构
Ye5jB2Z
−使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
g JjN<&, −倾斜光栅高级设定[用例]
ecj7BT[mLI •光栅衍射效率分析
DIaYo4 −光栅阶序分析器[用例]
2#vv$YD •使用参数优化进行光栅参数优化
TJ(K3/)Z •使用参数运行的容差分析
H6K`\8/SeN !lTda<;]
rv>^TR*,! $bvJTuw VirtualLab Fusion技术
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