摘要
`&;#A*C0 I0-1Hr 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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]t[%.^5# 设计任务
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参数优化
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O}g? 结果-容差分析
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kn#?+Q l4gH]!/@ VirtualLab Fusion一瞥
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%+r(*Q+0$f NK-}[!f VirtualLab Fusion中的工作流程
AyJl:aN^ |E13W 构建光栅结构
(U\o0LI −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
cg )(L; −倾斜光栅高级设定[用例]
Eu|/pH=: •光栅衍射效率分析
HOD?i_ −光栅阶序分析器[用例]
~'*23]j •使用参数优化进行光栅参数优化
,]wab6sY •使用参数运行的容差分析
Vc\g"1x CfOyHhhKX
y^r'4zN' j'*.=cwsp VirtualLab Fusion技术
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