[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 8NWvi%g  
1W;q(#q  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 noV]+1#"V  
zaf%%  
ul1#_xp  
$xJVUV  
设计任务 J[du
>1D  
+2!F6"hP  
ANZD7v6a  
y7txIe!<5  
1级参数优化 22)2o
lU  
XzIhFX6  
"JT R5;`w  
(%D*S_m'  
结果-容差分析 +eg$Z]Lht  
HI*xk  
XO
AZ  
KFvNsqd  
结果-容差分析 a39Kl_\  
UB|f{7~&  
HeCQF=
R  
<p;cR` %uE  
VirtualLab Fusion一瞥 ;Z\jX[H  
-L}crQl.'c  
Y1vl,Yi  
nJ<h}*[  
VirtualLab Fusion中的工作流程 LxC*{t/>8  
|f#~#Y2v  
构建光栅结构 g-q~0  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] QK)"-y}"g  
−倾斜光栅高级设定[用例] <nOK#;O)  
•光栅衍射效率分析 O'a Srjl  
−光栅阶序分析器[用例] 6&5p3G{%0  
•使用参数优化进行光栅参数优化 TL lR"L5  
•使用参数运行的容差分析 r~N0P|Tq  
c&vY0/ [  
GSj04-T"  
tG+ E'OP  
VirtualLab Fusion技术 ?{ns1nW:  
u2,V34b-  
`VM@-;@w  

了解一下光栅。