摘要
gb]hOB7g bHO7*E 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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VKT@2HjNT` jZa25Z00 设计任务
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M]J[6EW btUq 1级
参数优化
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B:e.gtM5 40 Au9o 结果-容差分析
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H9sZR>(^ grGhN q 结果-容差分析
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qO7fbql_ l &}piC VirtualLab Fusion一瞥
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7Aqn[1{_O XxhsPFv VirtualLab Fusion中的工作流程
=\M)6"}y} :b"=KQ 构建光栅结构
I9;xz ES −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
VxNXd? −倾斜光栅高级设定[用例]
V:(y*tFA •光栅衍射效率分析
K-Re"zsz −光栅阶序分析器[用例]
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n%" •使用参数优化进行光栅参数优化
7kdeYr~<1 •使用参数运行的容差分析
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%z30=?VL u',b1 3g( VirtualLab Fusion技术
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