摘要
@]v}& j7 .E H&GX 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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vS#Y,H:yAj LhN?j5XqM 设计任务
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LH7m >/LJr w; [ndZCY7 1级
参数优化
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aQjs5RbP~ ?A4zIJ\ 结果-容差分析
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L|B/ ' bTBV:]w 结果-容差分析
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lZ5LHUzP j<"@ Y7 VirtualLab Fusion一瞥
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W|X=R?*ZK JWZG)I]r VirtualLab Fusion中的工作流程
$('"0 @fg <} uhKp>* 构建光栅结构
b suGZ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
!wbO:py[8> −倾斜光栅高级设定[用例]
2VpKG*!\ •光栅衍射效率分析
O0Z !*Hy −光栅阶序分析器[用例]
4S%s=v w •使用参数优化进行光栅参数优化
k^VL{z:EWB •使用参数运行的容差分析
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VirtualLab Fusion技术
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