[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 ~@YQ,\Y  
sJ7sjrEp1  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 u 6(GM  
O3+)qb!X  
P/`m3aSzX.  
 0dh#/  
设计任务 Q)+Y}  
0h:G4  
<N5rv3 s  
\=8=wQv  
1级参数优化 2C{
/`N
 
bx7\QU+  
wDZ
  
b=_{/F*b?  
结果-容差分析 ixzTJ]yu  
|>@-grs  
!Y|8z\Q  
d|3o
/@k  
结果-容差分析 s@z{dmL  
*) } :l  
R|H[lbw  
Y.9~Bo<<r  
VirtualLab Fusion一瞥 Dh?vU~v(6  
shy  
~xE=mg4le  
f^u^-l  
VirtualLab Fusion中的工作流程 _lNC<7+#h  
yFi6jN#~  
构建光栅结构 0&Qsk!-B  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] :Dt\:`(r'  
−倾斜光栅高级设定[用例] }<.7xz|V  
•光栅衍射效率分析 []rT? -  
−光栅阶序分析器[用例] 2pjW,I!`  
•使用参数优化进行光栅参数优化 m'SmN{(t  
•使用参数运行的容差分析 QS5H>5M)  
\.kTe<.:_  
)X~#n  
-$OD}5ku#  
VirtualLab Fusion技术 >"O1`xdG  
@7)Z  
BL0|\&*1  

了解一下光栅。