摘要 ~{00moN"m
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 c`s ]ciC
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设计任务 cM Z-
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1级参数优化 @3_."-d
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结果-容差分析 m
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VirtualLab Fusion一瞥
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VirtualLab Fusion中的工作流程 JLh{>_Rr
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构建光栅结构 Jl-:@ [;
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] cIQ e^C
−倾斜光栅高级设定[用例] I!u fw \[
•光栅衍射效率分析 It8s#o q8
−光栅阶序分析器[用例] LPS]TG\
•使用参数优化进行光栅参数优化 O)D+u@RhH
•使用参数运行的容差分析 -:|t^RM;FT
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VirtualLab Fusion技术 J{r3y&:
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