摘要
5vzceQE} 4] > ]-b 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Zhr.
H ;|%dY{L- 设计任务
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ewNz%_2 bte~c 1级
参数优化
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mwv(j_ .k{ j]{k 结果-容差分析
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`L;eba O^>jdl!TZ 结果-容差分析
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2I/D
>Y 1{rSk bSwWszd~ VirtualLab Fusion一瞥
n@C~ev@%S rI$`9d
q}uHFp/J zboF
1v` VirtualLab Fusion中的工作流程
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f %m5Q"4O 构建光栅结构
gQSNU_o Z −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
!%<^K.wG −倾斜光栅高级设定[用例]
pb60R|k •光栅衍射效率分析
C9n}6Er=, −光栅阶序分析器[用例]
8?t"C_>*e •使用参数优化进行光栅参数优化
t-u|U(n •使用参数运行的容差分析
3LR p2(A d<w~jP\
9_ICNG% 0rk]/--FGJ VirtualLab Fusion技术
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