摘要
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f `A&64D 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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= h %MPppCEa 设计任务
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,^AkfOY7" PuUqWW'^ 1级
参数优化
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Fc 5g~T G78rpp 结果-容差分析
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U{i9h6b"18 ;v8,r#4 结果-容差分析
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/F/`?=1<$ 0($MN]oZa VirtualLab Fusion一瞥
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]%shs Oyj!N`&z@ VirtualLab Fusion中的工作流程
pX6OhwkTK 0r:8ni%cL 构建光栅结构
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8WS YZ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
VPtA
%1 −倾斜光栅高级设定[用例]
r95$B6 •光栅衍射效率分析
<(s+ −光栅阶序分析器[用例]
TxPP{6t •使用参数优化进行光栅参数优化
NZdQz •使用参数运行的容差分析
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J VirtualLab Fusion技术
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