摘要
-fv.ByyA N4pA3~P 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
gf@Dy6< z m%\L/BF
pY@+.V`a {lA@I*_lj 设计任务
([|M,P6e)U D3OV.G]`
SF7Kb `>Y ,&$Y2+ 1级
参数优化
e;$s{CNo Yp8$0KK
n9%rjS$ h?b{{ 结果-容差分析
R B!g,u B4?P"|
l6~eb=u;9g Je'$V%{E 结果-容差分析
n~h%K7
c 86i =N_
KLk37IY2\ p=zjJ~DVd VirtualLab Fusion一瞥
TS;MGi0`} >y?$aJ8ZV
\%)p7PNY z)ydQw> VirtualLab Fusion中的工作流程
m4EkL uJ[dO} 构建光栅结构
*+ 7#z; −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
^71sIf;+ −倾斜光栅高级设定[用例]
milU,!7J •光栅衍射效率分析
[mm5?23g −光栅阶序分析器[用例]
`0L!F"W •使用参数优化进行光栅参数优化
4 1Ru@ •使用参数运行的容差分析
1&dWt_\ qwN-VCj
'p<(6*," =KX:&GU VirtualLab Fusion技术
"2 Kh2[K [g<JP~4]
hp)3@&T