摘要
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*A|h 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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1^4:l!0D EU %,tp 设计任务
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I70c,4_G iCE!TmDT 1级
参数优化
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b,E ?{uG RZzHlZ 结果-容差分析
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`8ac;b N)H "'#- 结果-容差分析
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* y|2<Vc VirtualLab Fusion一瞥
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#wI}93E LE\=Y;% VirtualLab Fusion中的工作流程
Uj):}xgi' N/bOl~!y 构建光栅结构
*Jd"3Si/ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
D%p*G5Bg3 −倾斜光栅高级设定[用例]
rD].=.?1 •光栅衍射效率分析
uiVNz8H −光栅阶序分析器[用例]
USVDDqZ •使用参数优化进行光栅参数优化
*M1GVhW(+ •使用参数运行的容差分析
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s-$Wc)l H<(F$7Q!\ VirtualLab Fusion技术
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