摘要
mV3cp rRqv xai*CY@cQ 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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9I}-[|`u ;lHr =e7 设计任务
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6}d.5^7lr 0cj> mj1M 1级
参数优化
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wOU_*uY@6' @7IIM{ 结果-容差分析
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DI# ~) ,J+}rPe"sf VirtualLab Fusion一瞥
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aAD^^l# 4K\G16'$v VirtualLab Fusion中的工作流程
e|"WQ> 6 (]Dh;gC 构建光栅结构
\NPmym_ 6J −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
}\B><E{G −倾斜光栅高级设定[用例]
k>;`FFQU> •光栅衍射效率分析
F1*>y −光栅阶序分析器[用例]
uXn1
'K<'2 •使用参数优化进行光栅参数优化
X%
t1 T4 •使用参数运行的容差分析
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k\5c|Wq|g z&zP)>Pv VirtualLab Fusion技术
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