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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 to'7o8Z  
    pjWRd_h.  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /,Xl8<~#  
    >NRppPqL  
    J7`mEL>?  
     2?JV "O=  
    建模任务 r7m~.M+W"  
    fK J-/{|  
    5?kfE  
    概述 D@O `"2  
    C$OVN$lL`8  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ZEP?~zV\A  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 m9 h '!X<  
    UlYFloZ  
     g4IF~\QRVi  
    /Nf{;G!kg  
    光线追迹仿真 a5 D|#9  
    bn(N8MFCV  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 )U@9dV7u  
    •单击go！ HN7CcE+l  
    •获得了3D光线追迹结果。 .uuhoqG0  
    ~||0lj.D  
     -50DGA,K6  
    mptFd  
    光线追迹仿真 Re$h6sh  
    bdg6B7%Q  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 PsC")JS  
    •单击go！ L:$4o  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 uUH4vUa  
    U'fP  
     )9]a  
    M.W X&;>  
    场追迹仿真 X3.zNHN5  
    wPlM= .Hq?  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Hn|W3U  
    •单击go！ cHjQwl  
    Pe`(9&iT.  
    ;qshd'?*  
     9LDv?kYr  
    场追迹仿真（相机探测器） d54iZ`  
    Ep7MU&O0iK  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _olQ;{ U:  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |7qt/z  
    .ZTvOm'mB^  
     E9:@H;Gc  
    -$Oh.B`i  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $R9D L^iD  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SyWZOE%p  
    3JnpI,By  
    K@JZ$  
     d)o5JD/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） st-{xC#N#  
     kpm;ohd  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZT0\V ]!B  
    T[oC='I+O  
     bZqTT~'T  
     
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