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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 h:b)Wr  
    @w#-aGJO  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xaq-.IQAM$  
    uB]7G0g:  
    | C;=-|  
     -[4T  
    建模任务 (^8Y|:Tz  
    F 5bj=mI  
    b@gc{R}7  
    概述 }l(&}#dY  
    M)J5;^["  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 DbBcQ%  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &Cq`Y !y  
    8\@m - E!{  
      &=@IzmA  
    'Vzp2  
    光线追迹仿真 '1P2$#  
    ?(' wn<  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zsEc(  
    •单击go！ E<{ R.r  
    •获得了3D光线追迹结果。 X:f UI4  
    q~b  &  
     Go`vfm"S  
    )al]*[lY  
    光线追迹仿真 y2Q&s 9$Do  
    ,uSMQS-O'4  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2@n{yYwy  
    •单击go！ e&|'I"  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 lK?uXr7^  
    dc+>m,3$  
     }/0X'o  
    7X`g,b!  
    场追迹仿真 <prk8jSWV  
    1*P~!2h  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /QK6Rac-  
    •单击go！ j nkR}wAA  
    aq>kTaz  
    bQzZy5,  
     f&N gS+<K$  
    场追迹仿真（相机探测器） wjU9ZGM  
    x 77*c._3v  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >2y':fO  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Hck]aKI+  
    JinUV6cr  
     oM X  
    |0&IXOW"XF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） h/QXPdV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^rB8? kt  
    6iry6wcHm  
    F#3Q_G^/  
     =Pyj%4Rs  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {UX!go^J  
     $!-yr7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lne|5{h  
    [7:,?$tC  
     *l(7D(#  
     
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