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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 OU*skc>  
    &4*f28 s  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <X?xr f  
    ?!3u ?Kd  
    E#cu}zi  
     hI*6f3Vn(n  
    建模任务 9Fg:   
    5D mSgP:  
    }^*`&Lh  
    概述 *=Ma5J.  
    sXY{g0%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 H)Z$j&S{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 3(:?Z-iKe  
    .Vs|&c2im  
     w,X J8+B  
    7UUu1"|a|  
    光线追迹仿真 3w/z$bj  
    #fXy4iL l  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 q3|SZoN  
    •单击go！ Ym$`EN  
    •获得了3D光线追迹结果。 z$VVt ?K  
    ?iL-2I3*  
     7>EMr}f C  
    jPg[LZQ'  
    光线追迹仿真 _j~y;R)  
    &7Xsn^opku  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {&FOa'bP  
    •单击go！ Qh]k)]+*|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 7}(YCZny5  
    'G`xD3 E3,  
     Q_*.1L  
    _Ecs{'k  
    场追迹仿真 _6]tbni?v  
    ZR8y9mx2"  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 8mO_dQ  
    •单击go！ bKh}Y`  
    <irr .O  
    I}awembw g  
     {l\Ep=O vx  
    场追迹仿真（相机探测器） m`4N1egCt  
    P7 5@Yu(  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }hXmK.['  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 u_*y~1^0  
    1`Uu;mz  
     .4y44: T  
    d^"|ESQEU  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q{~;4+ZD  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P|a|4Bb+fW  
    J~N!. i  
    =n;LP#(h?  
     4OG 1_6K  
    场追迹仿真（电磁场探测器） dX-j3lM:#  
     ;U?323Z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z,>owoP4  
    sjHcq5#U!  
     #6#%y~N  
     
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