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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 dxF/]>t  
    6Rc%P)6  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 wVY;)1?  
    OCYC Dn  
    "RMvWuNt  
     \|q.M0  
    建模任务 0fU^  
    8WRxM%gsH  
    XIJ{qrDr  
    概述 R22P ol  
    Mq2[^l!qu  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 nO7#m~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 wO3K2I]>0  
    }t9A#GOz  
     fE&wtw{gi  
    J t,7S4JL  
    光线追迹仿真 >"z&KZKI  
    }^ G&n';J  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1q(o3%   
    •单击go！ 5 ,1q%  
    •获得了3D光线追迹结果。  gC}D0l[  
    *) ?Fo  
     _I}rQfPJ  
    A1nEp0%Y  
    光线追迹仿真 4<QS ot  
    t(F] -[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 kN,WB  
    •单击go！ 13:0%IO  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 MX#MDA-4  
    $>mTPNF  
     /o=,\kM  
    4yu ^cix(  
    场追迹仿真 hV4\#K[  
    9QryW\6.@z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3U73_=>=&  
    •单击go！ M:OJL\0  
    C6`<SW  
    WxF rqUz  
     @43o4,  
    场追迹仿真（相机探测器） Bz#K_S  
    ,Cckp! 6  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 HN*w(bROr  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2o5v{W  
    h.W;Dmf6]  
     k$7@@?<  
    e!(0y)*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ck0R%|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fjAJys)Q  
    bUp ,vc*  
    boR&'yX  
     d#9"_{P  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  } Rc8\,  
     *0,?QS-a  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2eBA&t  
    |,ZmRW^2K  
     =*YK6  
     
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