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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 H>IMf/%5N-  
    gMmaK0uhS  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /GN<\_o=q  
    vn!3l1\+J  
    8@Q$'TT6}  
     F=e8IUr  
    建模任务 O!#g<`r{K  
    @/.;Xw]  
    XbKYiy  
    概述  :D6 ON"6  
    _Xc8Yg }`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p!7FpxZY  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2g-j.TM  
    KNvZm;Q6  
     Uw. `7b>B  
    =JEv,ZGT3  
    光线追迹仿真 >}8j+t&T  
    rdP[<Y9  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {_[N<U:QT&  
    •单击go！ 9@(PWz=`?  
    •获得了3D光线追迹结果。 x7&B$.>3  
    t7Iv?5]N  
     RQ'9m^  
    3 *"WG O5  
    光线追迹仿真 w !-gJmX>  
    2\MT;;ZTZ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \5:i;AE  
    •单击go！ xw,IJ/E$1  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $aDVG})  
    WUe{vV#S'0  
     +US!YU  
    !Y0Vid  
    场追迹仿真 I by\$~V  
    .\ULbN3Z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;~ )5s'  
    •单击go！ mI-]/:  
    S]e|"n~@  
    )Xz,j9GzJS  
     OUPUixz2Z  
    场追迹仿真（相机探测器） {tuYs:  
    _ @NL;w:!  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7Jyy z,!5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~F|+o}a `  
    A@!qv#'  
     zII|9y  
    u"cV%(#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） HSE!x_$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N]Y d9tn{  
    P6'1.R  
    T= y}y  
     vAF "n  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B[Ku\A6&  
     / |;RV"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Fx_z6a  
    _/s$ZCd  
     ~zJbK. _  
     
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