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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 l \|sHn/  
    (;-_j /  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 =T1Xfib  
    dqO]2d  
    {uJ"%  
     (^E5y,H<g  
    建模任务 W{~ y< `D  
    "F4 3q8P  
    YGRb|P-  
    概述 }c>vk  
    d1'= \PYr  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 n^*,JL 9@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 s_e*jM1  
    @a,=ApS"  
     >7~,w1t  
    W_,7hvE?"H  
    光线追迹仿真 ^66OzT8A  
    X8A.ag0Uu  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 $8SSu|O+x  
    •单击go！ 5".bM8o  
    •获得了3D光线追迹结果。 a2/Mf   
    nq~fH(QY  
     MH0wpHz  
    .L]5,#2([  
    光线追迹仿真 +wQ}ZP&  
    {JF"PAS7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 H({m1v ~R  
    •单击go！ }Z< Sca7  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'f CSP|  
    ~$hR:I1  
     q03+FLEfC  
    %5nEyZOq  
    场追迹仿真 T8Q_JQ  
    )d2:r 07a  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %s^1de  
    •单击go！ bbDm6,  
    oK$Krrs0&  
    PsD)]V9%:  
     Mc!LC .8  
    场追迹仿真（相机探测器） q8FpJ\  
    Upcx@zJ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 sg49a9`8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \u))1zRd  
    Q]3]Z/i  
     ~*<`PDO?  
    G6G-qqXy6  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  :8==Bu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y` '#gH  
    NJVkn~<  
    Gv}Q/v   
     *c&OAL]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） A1`6+8}o;b  
     &m   GU  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \okv}x^L=Z  
    \NEk B&^n  
     'J5F+, \Ka  
     
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