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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 05-14
    摘要 # Kr.!uD  
    wdV?& W+  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?0%TE\I8  
    6+z]MT  
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    建模任务 E-iBA(H  
    gD =5M\  
    6x{IY  
    概述 a$O]'}]`  
    lhj2u]yU0S  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 e !Okc*,  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 m3-J0D<  
    "-:\-sMt{  
     _q4m7C<  
    x@}Fn:c!5  
    光线追迹仿真 @v=q,A8_  
    2H "iN[2A  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 L:Eb(z/D  
    •单击go！ y]9U FL"  
    •获得了3D光线追迹结果。 e_-/p`9  
    mK4|=Q  
     ~]M"  
    r/2:O92E  
    光线追迹仿真 @/FX7O{n:  
    @NE#P&f  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V~Lq, oth  
    •单击go！ ~ }22Dvo  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 .Tv(1HAc2l  
    (=/;rJ`q  
     =fo/+m5  
    6Qu*'  
    场追迹仿真 &Z!2xfQy>  
    Fo~v.+^?  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^W'[l al.  
    •单击go！ ]L^M7SKE6  
    %T\x~)  
    F k;su,]_  
     }C.{+U  
    场追迹仿真（相机探测器） }}1Q<puM  
    NkI:  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7bS[\5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |9eY R  
    ^ ni_%`Ag  
     (=rv `1  
    J}CK|}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B,,d~\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YYW70k:  
    *rT(dp!Y  
    Bn q\Gg  
     +~O{ UGB=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F\bI6gj  
     xS1|Z|&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s#ZH.z@J  
    RC%r7K f  
     9zd/5|W  
     
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