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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 'zI(OnIS  
    <o%T]  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 fQfn7FaW_\  
    (DiduSJ  
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     :*Wq%Y=  
    建模任务 0fOhCxtL@  
    l!tR<$|  
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    概述 &&&-P\3  
    +x2JC' -H  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 UY(T>4H+h  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \qG ?'Iy  
    pl]|yIZ  
     XO <0;9|  
    OH t)z.  
    光线追迹仿真 .ck?JXg  
    gQeQy  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ? Lg(,-:  
    •单击go！ }Fjbj5w0  
    •获得了3D光线追迹结果。 j*.;6}\o  
    }-oba_  
     3}|[<^$  
    ;u<Ah?w=Z  
    光线追迹仿真 (tg.]q_=u  
    tpJA~!mG3  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Jq/itsg  
    •单击go！ DPI[~  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 kOydh(yE  
    "V p nr +6  
     :r*hY$v  
    JN wI{  
    场追迹仿真 ng%[yY  
    eh9 ?GUr5  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^\}qq>_  
    •单击go！ ^+>*Y=fl  
    gc A:Q4  
    q A .9X4NQ  
     h3@tZL#g  
    场追迹仿真（相机探测器） ~Zr}QO}G  
    m'"r<]pB*4  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 b?}mQ!  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 91]|4k93  
    16L YVvmW  
     &>\;4E.O5  
    So 1TH%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *)E${\1'<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Jpapl%7v  
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    ^C'S-2nGH  
     gy.UTAs N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F!X0Wo=  
     s;vt2>;q+e  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'FXM7D   
    B'yjMY![  
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