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摘要 2]GdD* 0N[&3Ee8 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 mpAR7AG6 e0@6Pd
'E/*d2CDM( M` q?Fk 建模任务 |b-9b& 3!Sp0P p.ANVA@: 概述 xq-17HKs IdYzgDH •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 d(vsE%/! •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 pi=-#g(2 "|;:>{JC
Fc~'TBf,,` &PkLp4mQ 光线追迹仿真 Nx{$} kKD`rfyG\ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 JdIlWJY •单击go! 4h@Z/G!T3 •获得了3D光线追迹结果。 P\8@g U!uk j4?@(u9;j
u` oq(?| +k
dT(7 光线追迹仿真 NCxqh < `:P
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d(g^M1m •单击go! ~m|Mg9- •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 u0P)7~% z0|&W&&D
GN KF&M e[sK@jX6 场追迹仿真 &1+X\c+tb qwIa?!8o •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 t){"Tfc: •单击go! V9ssH87# SIbDj[s ;<UW A. aM7uBx\8 5 场追迹仿真(相机探测器) Vy_2 . kdb(I@6 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 kId
n6 Wx, •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 5K|"\ -P&6L\V
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.\@{c YeF1C/'hy 场追迹仿真(电磁场探测器) 0IQ'3_ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J9K3s_SN AfG/JWSo} ^z,_+},a3T *^([ ~[ 场追迹仿真(电磁场探测器) nFe%vu8a WM)-J^)BJ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zG e'*Qei [`]4P&
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