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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 >6jy d{  
    RR`?o\  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 mI0| lp 1$  
    a`/[\K6  
    Br-y`s~cP  
     BtU,1`El5  
    建模任务 u"C`S<c  
    JhB{aW>  
    IO v4Zx<)  
    概述 b-~`A;pr  
    `pII-dSC%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Kq-y1h]7H  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 /91H! s  
    J0o U5d=3  
     3b%y+?-{\u  
    J )@x:,o  
    光线追迹仿真 #i)h0ML/e  
    >OiC].1   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 QbOm JQ  
    •单击go！ Ai#W. n  
    •获得了3D光线追迹结果。 {/R4Q1  
    )I!l:!Ij*D  
     <`6-J `.  
    xvpS%MS  
    光线追迹仿真 H3 `%#wQ0j  
    W]6Y buP:  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 r}*2~;:pW  
    •单击go！ .0\Wu+  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 k`\DC\0RG  
    9dKrE_zK:  
     zZ;tSKL  
    {wA@5+[  
    场追迹仿真 [Hn+r &  
    %o^'(L@z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Vfc 9 +T+  
    •单击go！ o Q{gh$6*  
    VZ_ 4B *D  
    8V~w3ssz  
     #c?\(qjWA  
    场追迹仿真（相机探测器） wW!*"z  
    rl4daV&,U  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (qB$I\  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 173/A=]  
    p1X lni%=  
     `$MO.K{  
    C(W?)6?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） E\RQm}Z09  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `"-)ObOj}  
    O-  r"G  
    3~Ipcr B  
     b?HW6Kfc  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3n6_yK+D  
     =;@5Ue J  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gDAA>U3|$  
    Gi;e Drgj~  
     _Vp9Y:mX2  
     
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