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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 2]GdD*  
    0N[&3Ee8  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 mpAR7AG6  
    e0@ 6Pd  
    'E/*d2CDM(  
     M` q?Fk  
    建模任务 |b-9b&  
    3 !Sp0P  
    p.ANVA@:  
    概述 xq-17HKs  
    IdYzgDH  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 d(vsE%/!  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 pi=-#g(2  
    "|;:>{JC  
     Fc~'TBf,,`  
    &PkLp4mQ  
    光线追迹仿真 Nx{$}  
    kKD`rfyG \  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 JdIlWJY  
    •单击go！ 4h@Z/G!T3  
    •获得了3D光线追迹结果。 P\8@g U!uk  
    j4?@(u9;j  
     u` oq(?|  
    +k dT(7  
    光线追迹仿真 NCxqh<  
     `:P  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d(g^M1 m  
    •单击go！ ~m|Mg9-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 u0P)7~%  
    z0|&W&&D  
     GN KF&M  
    e[sK@jX6  
    场追迹仿真 &1+X\c+t b  
    qwIa?!8 o  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 t){"Tf c:  
    •单击go！ V9ssH87#  
    SIbDj[s  
    ;<UWA.  
     aM7uBx\8 5  
    场追迹仿真（相机探测器） Vy_2.  
    kdb(I@6  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 kId n6 Wx,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 5K|"\  
    -P&6L\V  
     _+ .\@{c  
    YeF1C/'hy  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0 IQ'3_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J9K3s_SN  
    AfG/JWSo}  
    ^z,_+},a3T  
     *^([ ~[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） nFe%vu8a  
     WM)-J^)BJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zG e'*Qei  
     [ `]4P&  
     $T :un.TM  
     
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