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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ,B/p1^;.  
    94k)a8-!  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Gk]qE]hi  
    MnrGD>M@|  
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     meVVRFQ2+  
    建模任务 :`"T Eif  
    pQ-^T.'  
    EwBN+v;)  
    概述 'Tan6 Qa  
    sz2SWk^&  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 r(2'0JQ  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 He_(JXTP  
    q?]@' ^:;  
     _Ag/gu2-?  
    -$MC  
    光线追迹仿真 u$@I/q,ou  
    Z6/~2S@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0gb]Kjx  
    •单击go！ n#L2cv~Aj"  
    •获得了3D光线追迹结果。 (>5VS  
    T _9ZI|Jx  
     @ un  
    W;}u 2GH  
    光线追迹仿真 EKS<s82hF&  
    l|tp0[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 wj5s5dH  
    •单击go！ y<x_v )k-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 yc4f\0B/  
    W]Y!ZfGnN  
     ?UhAjtYIS  
    pmD-]0  
    场追迹仿真 LOG*K;v3  
    oYm{I ~"  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 a1sLRqo8  
    •单击go！ E9*?G4P{l  
    .O-DVW Cm  
    /ZN5WK  
     l'lDzB+.*  
    场追迹仿真（相机探测器） F*( A; N_y  
    &OR*r7*Z  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 G]DN!7]@g  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 j.v _  
    K]*ERAfM%m  
     JP*wi-8D  
    @' :um  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q pc^qP^-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T q; "_s  
    HPCA$LD  
    MC)W?  
     m]}"FMH$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） oc%le2   
     &r%^wfp  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E_uH' E  
    (gC^5&11  
     nln[V$   
     
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