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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 *FUbKr0  
    '.DFyHsq  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 1~q|%"J  
    t7DT5SrR  
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     X}3o  
    建模任务 UYb:q  
    Hlq#X:DCn  
    v iY&D  
    概述 7l3sd5  
    F .JvMy3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h=~ TgTv  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 h{cJ S9e}  
    !_gHIJiq}  
     H6XlSj  
    'e>0*hF[  
    光线追迹仿真 wGf SVA-q\  
    7.l[tKh  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5)GO  
    •单击go！ poYO  
    •获得了3D光线追迹结果。 =7mn= w?  
    h>+,ba"D  
     /_P5U E(  
    hIPU%  
    光线追迹仿真 auTApYS53  
    IPoNAi<b  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O?9&6x   
    •单击go！ =q( ;g]e  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K Zw"?%H[  
    m. G}# /  
     bi bjFg   
    RS~jHwIh  
    场追迹仿真 h+! Ld^'c  
    RAQi&?Ko  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 n%]1p36  
    •单击go！ .ns1;8  
    TC4W7} }  
    SAt{At  
     54w..8'  
    场追迹仿真（相机探测器） N4Z%8:"pj  
    UHYnl ]  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Wej8YF@  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ;k<g# She  
    d3AOuVUf  
     ~JsTHE$F  
    %11&8Fp1s  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;5A  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1O0o18'  
    5uu Zt0V\  
    `)FSJV1  
     POQRq%w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） p*8LS7UT  
     Lmx95[#@a  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F`;oe[wfk  
    T<"Hh.h  
     #=@( m.k:s  
     
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