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摘要 M"$RtS|h TcKKI 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 O"-PNF,J |xgCV@
k;:u| s8NS kFa?q}47 建模任务 (b2^d ]zMBZs -qCJwz30 概述 -JO46
#m xo_k"'f+ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 53&xTcv}x •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 a3
_0F@I BiLreZ~"
e4W];7_K! =cKk3kJC 光线追迹仿真 w*ktx{ Umwg
iw •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ];}|h|q/{} •单击go! leYmVFE •获得了3D光线追迹结果。 ~V-
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+#db_k ;WAu]C| 光线追迹仿真 %Kfa|&'zV wkpVX*DfRE •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 U)%u`C0 •单击go! ~u`! Gi •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 lRK?%~ `V_/Cz_}D
,H(vD,54g MmX[xk 场追迹仿真 ziGL4c0p h=y(2xA •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;3}b&Z[N] •单击go! 4sE=WPKF# B;7s ]R qq%_ksQ z}N^`_ * 场追迹仿真(相机探测器) <gzMDX[^M &ziB#(&:H •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *ik)>c_ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 3:Egqw 5e8-?w%e
so&3A&4cL ZS>/ 5 场追迹仿真(电磁场探测器) "m)O13x •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e/D\7Pf um;U;%?Q ywtDz8!^u |-Klh 场追迹仿真(电磁场探测器) )4~XZt1r s/^=WV •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2qR@:^ H$iMP.AK
by ee-BU
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