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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 VKa-  
    N_jCx*.G  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]s lYr8m  
    m#[tY >Q[b  
    ^Pc>/lY$Q%  
     .f'iod-   
    建模任务 [.e Y xZ{=  
    2Z]<MiAxD  
    @uc N|r}=R  
    概述 RZykwD(  
     .*H0{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 yK"OZ2Mv  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M,Y lhL  
    U].u) g$  
     o6e6Jw  
    5[WhjTo  
    光线追迹仿真 B7Um G)C  
     )]2yTG[  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 G>hmVd  
    •单击go！ 5BKmp-m  
    •获得了3D光线追迹结果。 [,_M@g3  
    gI A{6,A  
     K`PmWxNPh  
    Ov{fO  
    光线追迹仿真 v2<roG6.V  
    g%w@v$  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (]BZ8GOx  
    •单击go！ \6B,\l]$t@  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 qlUYu"`i  
    Qi^MfHW  
     w;$@</  
    +4emkDTdR  
    场追迹仿真 DI=Nqa)r  
     z"BV+  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4%WV)lt  
    •单击go！ dG{`Jk  
    H3 _7a9  
    .rj FhSr$  
     OT7F#:2`  
    场追迹仿真（相机探测器） (^g?/i1@d  
    JWG7QH  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #)%N+Odnr  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 o a,Ju  
    v>Il #  
     9/w'4bd  
    <p(&8P  
    场追迹仿真（电磁场探测器） D%LM"p  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "fLGXbNQ  
    )61CrQiY  
    zTY|Z@:  
     {xt<`_R  
    场追迹仿真（电磁场探测器） XKp%7;  
     A"Rzn1/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I=hgfo  
    ovCk :Vz  
     Kq`Luf  
     
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