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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 &Sd5]r@+  
    E+/Nicn=  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 uY5|Nmiu  
    p7|I>8ur.  
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     8Yq06o38C  
    建模任务 %E_Y4Oe1  
    D)PX|xrn  
    =2 HY]H  
    概述 .b";7}9{  
    in1rDN%Vi  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 FDl/7P`b(  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {]dxFhe)  
    liS'  
     5sJ>+Rg  
    d_`MS@2  
    光线追迹仿真 )Eozo4~  
    0T`Qoo>u  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !gkr?yhE  
    •单击go！ }eLApFHEDg  
    •获得了3D光线追迹结果。 x:)H Ii q/  
    ]'pfw9"f~  
     Zv %>m  
    wH|%3 @eJ  
    光线追迹仿真 6,=Z4>  
    gCg hWg{S  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D/E5&6  
    •单击go！ |m-N5$\IC  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 WR #XPbk  
    .eN"s'  
     &oMEz 0  
    % G!!0V!  
    场追迹仿真 w%\ nXJ  
    :gsRJy1  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Vo"G@W)lZ  
    •单击go！ +t,b/K(?]  
    `/WxEu3  
    JzEg`Sn^  
     XNa{_3v  
    场追迹仿真（相机探测器） f 6I)c$]Q  
    3V]dl)en%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 r%;|gIky  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Y^]n>X  
    YIk@{V  
     P.YT/  
    "[ S[vkI  
    场追迹仿真（电磁场探测器） I;@q`Tm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nT|WJ%  
    CNRSc 4Le  
    5 SQ!^1R 9  
     h?TIxo:6/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） G+=G c(J  
     ;SXkPs3q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2(d  
    T}!9T!(HdF  
     L!JC)p.  
     
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