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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 x<I[?GT=  
    #`y[75<n  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 C]b:#S${  
    sqhMnDn[  
    N[eL Qe]q  
     .6MG#N  
    建模任务 tQ@7cjq8bA  
    Z"c-Ly{vEj  
    =|J*9z;  
    概述 q:kGJ xfaW  
    k2Cq9kQq  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A\?t^T  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 h GA2.{  
    _N;@jq\q  
     igL5nE=n  
    OcUj_Zd  
    光线追迹仿真 E^J &?-  
    -aBhN~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 y)KIz  
    •单击go！ 2|7:`e~h  
    •获得了3D光线追迹结果。 L4^/O29  
    $-/-%=  
     ]]y>d!  
    8^EWD3N`  
    光线追迹仿真 dWzf C@]  
    0`zdj  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <e#v9=}DI  
    •单击go！ Q=! lbW  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 W'"hjQ_  
    x#E M)Thq  
     O-[YU%K3?  
    z~f;}`0  
    场追迹仿真 ^/Hf$tYI!`  
    n',7=~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 : F3UJ[V  
    •单击go！ Z42q}Fhm*R  
    Pg.JI:>2Ku  
    Q.9,W=<6  
     0Gj/yra9MO  
    场追迹仿真（相机探测器） Z:^<NdKe  
    `yq) y>_  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 H,<CR9@(5d  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 FS8l}t  
    )0I -N)  
     o_\vudXK  
    E`LaO  
    场追迹仿真（电磁场探测器） oeKl\cgFx  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `6-flc0r  
    aNM*=y`  
    }+lK'6  
     c\[&IlM  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7V^j9TC  
      %o/@0.w  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #k<l5x`  
    1c/<2xO~  
     n[y=DdiKGS  
     
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