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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 2nz^%pLT  
    l4: B(  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 }Y9= 3X  
    ;xqN#mqq  
    }3HN $Fwo  
     lW6$v* s9  
    建模任务 ,y5,+:Y ~  
    VO u/9]a  
    '/O >#1  
    概述 L/*D5k%J  
    mQd L"caA  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #X 1 GL  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 1/\JJ\  
    }aSTo"~m#  
     }o,-@R~  
    9^+8b9y  
    光线追迹仿真 %7}ibz4iF  
    ~$PY6s  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Nl$b;~ u  
    •单击go！ (Y!{ UNq5  
    •获得了3D光线追迹结果。 CqFk(Td9-D  
    X iW~? *Z  
     -}x( MZ  
    ka=EOiX.  
    光线追迹仿真 ;]vJ[mi~  
    SB x<-^  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 b%wm-p  
    •单击go！ @h=r;N#/`P  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2r^G;,{  
    K6Z/  
     fug F k  
    BWF>;*Xro  
    场追迹仿真 3q-Xj:FP  
    2]:Z7Ji  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 y?P4EVknM3  
    •单击go！ )i/x%^ca$  
    }kZ)|/]kn  
    C.`!?CW  
     ihp>cl?  
    场追迹仿真（相机探测器） 7 MZ(tOR  
    qbx}9pp}g  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vw2yOL RX  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 B>r>z5  
    @V=HY  
     Eg+ z(m$M  
    HRg< f= oz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） NTV@,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 It#T\fU  
    B%(-UTQf  
    pq +~|  
     >Q#\X=a>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） %X -G(Z  
     Qv B%X)J  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ihy76_OZ  
    ,V &RpKek  
     jI!WE$dt  
     
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