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摘要 g>l+oH[Tv| v0?SN>fZ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2$v8{Y&
&x;n^W;#
 ? a)Fm8Y
)j\_ *SoH 建模任务 ;#9ioG x 1}Y3|QxF  #jd.i 概述 |>Fz:b d SlwQ_F"4L •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Dt{WRe\# •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 g@T}h [ Cy)N hgz
 ,HI% ym *+nw%gZG 光线追迹仿真 H \'1.8g/ [P6m8%Y|s •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 w*&vH/ D •单击go！ 1 b 86@f •获得了3D光线追迹结果。 xaVn.&Wl n$v4$_qS
 K?r WdlGnFAWh 光线追迹仿真 '.M4yif \g %M))Ak4 ~a •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3+(lKd •单击go！ Sc/$ 2gSG •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 fx>U2 53gLz_ee
 ifu!6_b. '#h ORQ B 场追迹仿真 \KzJ NCOT W)J MV •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 / |<S D.: •单击go！ U| VL+9#hd *HUXvX|-%  a(=lQ(v/?
{dm>]@"S 场追迹仿真（相机探测器） :~#)Xa0I w 52p y7 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 '&dT •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &0tW{-Hv" W`NF4 0)
 n:2._s T {u2Zl7]z^ 场追迹仿真（电磁场探测器） g(;OUkj$Zp •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~LZrhwVj$ >TY;l3ew  Ff(};$/& W
MfHOn YV 场追迹仿真（电磁场探测器） +L`}(yLJ)9
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