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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 M"$RtS|h  
    TcKKI  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 O"-PNF,J  
    |xgCV@  
    k;:u| s8NS  
     kFa?q} 47  
    建模任务 (b 2^d  
    ]zMBZs  
    -qCJwz30  
    概述 -JO46 #m  
    xo_k"'f+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 53&xTcv}x  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 a3 _0F@I  
    BiLreZ~"  
     e4W];7_K!  
    =cKk3kJC  
    光线追迹仿真 w*ktx{  
    Umwg iw  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ];}|h|q/{}  
    •单击go！ leYmV FE  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~ V- o{IA  
    .6/p4OR|  
     +#db_k  
    ;WAu]C|  
    光线追迹仿真 %Kfa|&'zV  
    wkpVX*DfRE  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 U)%u`C0  
    •单击go！ ~u`! Gi  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 lR K ?%~  
    `V_/Cz_}D  
     ,H(vD,54g  
    MmX[xk  
    场追迹仿真 z iGL4c0p  
    h=y(2xA  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;3}b&Z[N]  
    •单击go！ 4sE=WPKF#  
    B;7s]R  
    qq%_ksQ  
     z}N^`_ *  
    场追迹仿真（相机探测器） <gz MDX[^M  
    &ziB#(&:H  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *ik)>c_  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3:Egqw  
    5e8-?w% e  
     so&3A&4cL  
    ZS>/ 5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "m)O13x  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e/D\7Pf  
    um;U;%?Q  
    ywtDz8!^u  
     |-Klh  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )4~XZt1r  
     s/^= WV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2qR@: ^  
    H$iMP.AK  
     by ee-BU  
     
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