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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 MU@UfB|;u  
    {f/~1G[M  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 }eCw6  
    ;w{tv($$  
    lk/n}bx  
     ugdQAg  
    建模任务 &FMc?wq  
    U6glp@s  
    M'7f O3&|  
    概述 K -nF lPm\  
    l%k\JY-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .F4>p=r  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Ec3}_`  
    }"nItcp.1  
     %<\vGqsM  
    \ :%(q/v"X  
    光线追迹仿真 I5k$H$  
    |s7s6k)mm  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "%`1 ]Fr  
    •单击go！ Y071Y:  
    •获得了3D光线追迹结果。 y`<*U;xL  
    I&D5;8  
     .0zY}`  
    -^&<Z 0m  
    光线追迹仿真 ],@rS9K  
    y;35WtDVb  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "Gsc;X'id  
    •单击go！ (yH'{6g\  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Q- cFtu-w  
    .?8;qA  
     Z^bQ^zk-  
    9P1OP Xv*p  
    场追迹仿真 u 1>2v  
    0M_ DB=  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 LdYB7T,  
    •单击go！ (ZS}G8  
    G?L HmTHg  
    R3 -n>V5o  
     K^ vIUZ>  
    场追迹仿真（相机探测器） hE-h`'ha`  
    %|s; C  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 HZ aV7dOZ8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 l.q&D< _  
    9g9HlB&Ze  
     !y\'EW3|G  
    }zeO]"`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,82S=N5V!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^=GC3%  J  
    TJ10s%,V  
    rJ`!:f  
     a!zz6/q[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Kr?TxhUHd  
     !{ y@od@T  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2Z+Wu3#  
    ew>XrT=Zm  
     JB%',J  
     
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