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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 \|t0~sRwh  
    cs M|VNE>  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 t5APD?5 c  
    11T\2&Q  
    FlG^'UD  
     I}v#r8'!  
    建模任务 QX=;,tr  
    )It4al^\  
    t>sX.=\$  
    概述 sZB6zTX J  
    "6.p=te  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 SkA'+(  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $?-o  
    }_22 wjm~  
     `VE&Obp[  
    5; [|k$ v  
    光线追迹仿真 IR8&4qOs  
    Y]K]]Ehp  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 an`(?6d  
    •单击go！ 1n( }Q1fa  
    •获得了3D光线追迹结果。 #jx?uS  
    DOIWhd5:  
     wT= hO+  
    @e0skc  
    光线追迹仿真 2H+DT-hK  
    \87J~K'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 I?g__u=n~  
    •单击go！ MEnHC'nI  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZC*d^n]x.  
    faOWhIG  
     [5*-V^m2  
    U(=9&c@]  
    场追迹仿真 }C"*ACjF   
    C(HmLEB^  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 97wy;'J[u  
    •单击go！ G)Bq?=P  
    k1U8wdoT  
    J8BT%  
     o=# [^Zv  
    场追迹仿真（相机探测器） i!oj&&  
    F'$S!K58  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;6txTcn`=  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \g1@A"  
    Q9xx/tUW  
     ~o'#AP#N~  
    _xg VuJ   
    场追迹仿真（电磁场探测器） PbHh?iH  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *F*jA$aY  
    WriN]/yD  
    ls7A5 <  
     #]DZrD&q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {3(.c, q@  
     9r+O!kF(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [H%?jTQ  
    LZC?383'  
     c_bVF 'Bz  
     
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