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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ZPyM>XK$4  
    /.$L"u  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :6lwO%=F  
    a4&:@`=  
    gvyT-XI  
     0^#DNq*NQ  
    建模任务 8Z#21X>  
    3wC R|ab}  
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    概述 =j~Q/-`EC0  
    `*yAiv>  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 XlkGjjW#/J  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ooE{V*Ie  
    U =cWmH  
     F P@qh  
    O?ktWHUx  
    光线追迹仿真 OVR?*"N_  
    ~HmxEk9  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 T'1gy}  
    •单击go！ l}}UFEA^  
    •获得了3D光线追迹结果。 VVuR+=.&  
    7>n"}8i  
     <9ifPSvJ  
    yC !/PQ"  
    光线追迹仿真 7pet Hi  
    = .`jjDJ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 l6 7KJ  
    •单击go！ )acV-+{  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 w`gyE 6A  
    (}gcY  
     ai;\@$ cq  
    BU6Jyuwn  
    场追迹仿真 {/}^D-  
    r{[OJc!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 oT&m4I  
    •单击go！ , 2`~ NPb  
    (C S8(C4[  
    2P9J' L  
     #w>~u2W  
    场追迹仿真（相机探测器） E4HU 'y~  
    $|a;~m>  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 'UfeluMd  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 k+1gQru{d  
    @-"R$HOT  
     G!Zyl^  
    S%l:kKD  
    场追迹仿真（电磁场探测器） U7H9/<&o  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `ZGcgO<c\  
    yn~P{}68  
    #a,9B-X  
     kMxjS^fr  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 'M/ ([|@  
     z"379b7cN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w>979g  
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     $1 @,Qor  
     
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