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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 &:}}T=@M1  
    A"pV 7 y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 F0 ^kUyF|  
    v#ERXIrf  
    whb,2=gIE  
     E*]%@6tH  
    建模任务 .N~YVul[a*  
    /}&@1  
    Ou,Eu05jt'  
    概述 YH-+s   
    oaMh5 FPy  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _ H$^m#h  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 3lG=.yD  
    OJTEvb6nPg  
     Q ~>="Yiu  
    h6uv7n~4  
    光线追迹仿真 ^/_1y[j  
    p({)ZU3  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |\] _u 3  
    •单击go！ r>.^4Z@  
    •获得了3D光线追迹结果。 b]XDfe  
    Qu6Q)dZ<  
     S1G=hgF_L  
    le.(KgRS4  
    光线追迹仿真 bP3S{Jt-|  
    [X=J]e^D  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |C_sP,W  
    •单击go！ :^ *9E b  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 avwhGys#  
    $kCXp.#k@~  
     (14J~MDB  
    uU#7SX(uu  
    场追迹仿真 9<Kc9Z  
    .BqS E   
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 BBUXoz  
    •单击go！ `|d&ta[{  
    xK;WJm"  
    L7 f'  
     mIUpAOC`"Z  
    场追迹仿真（相机探测器） dX>l"))yR  
    XF=GmkO  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?Rg8u  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 3t^r;b  
    wD'LX  
     ({l!'>?  
    p@x1B &Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） A"` (^#a  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (y;8izp9!  
    {S;/+X,  
    AroXf#.  
     EPMdR66  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ? W`?F  
     is,r:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v\gCgx=%j  
    Mk"V%)1k  
     SpG^kI #  
     
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