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摘要 oi #B7 W}(A8g#6 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 'xW=qboOp SB62(#YR
E0Wc8m " ^C>kmo3J 建模任务 At7!Pas#@g {cK<iQJ P\U<,f 概述 (:oF\ |#Gxqq' •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u~uzKG •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >* -IIo DUOoTlp
pbMANZU[ _>gz& 光线追迹仿真 mGT('iTM4 "x,lL •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >"W^|2R •单击go! f:;-ZkIU ? •获得了3D光线追迹结果。 PGTEIptX7 LjZlKB5C
osp~)icun oz!)x\m*H 光线追迹仿真 j\}.GM'8 Wt.DL mO •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \@Wv{0a( •单击go! g/GI'8EMj •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 =*UK!y?n }k-V(
(5T>`7g8 %i9S" 场追迹仿真 z{XB_j6\= Mc,79Ix" •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?9 huuJs7 •单击go! /|EdpHx0 ] \yIHdcDi d`sZ"8}j -` ]9o3E7H 场追迹仿真(相机探测器) ne#dEUD f;E#CjlTL •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4$-R|@,|_ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 A 3 V .6y+van
Y9.3`VX M5bE5C 场追迹仿真(电磁场探测器) .; MS78BR •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yfl?\X{ ((M,6Q} d1~#@6CIz K V5
'-Sv1 场追迹仿真(电磁场探测器) "L>'X22ed /-M:6 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XIcUoKg^ )fJ"Hq
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