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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 F./P,hhN9  
    KvumU>c#A  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 kC iOcl*$  
    df{6!}/(  
    -Yg?@yt  
     kd OIL2T  
    建模任务 ^+}~"nvD  
    4U*CfdZZ  
    x$) E^|A+  
    概述 ]RxWypA`  
    NBD1k;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 [6CWgQ%Ue  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 /0r6/ _5-.  
    ]3d5kf  
     H^JFPvEc  
    ?~X^YxWsY  
    光线追迹仿真 W#foVAi .  
    x\!vr.  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2+|U!X  
    •单击go！ w0 1u~"E  
    •获得了3D光线追迹结果。 n9Ktn}  
    {j%7/T{  
     >2mV {i&  
    V U~r~  
    光线追迹仿真 [0H]L{yV  
    >g,i"Kg  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;FnS=Z  
    •单击go！ Hm]\.ZEy  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 -Xt0=3,  
    O+=C8  
     ~8EzK_c  
    T^S $|d  
    场追迹仿真 6*s:I&  
    vAzSpiv-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 MS& 'Nj  
    •单击go！ tJpK/"R'  
    lI;ACF^  
    S5e"}.]|  
     T&->xe f=  
    场追迹仿真（相机探测器） mA4]c   
    fz<GPw  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 u2cDSRrqT  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 hlGrnL  
    {YEGy  
     %18%T{|$e  
    vOU9[n N[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B>%;"OMp  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7%5EBH &  
    QW2SFpE  
    Zn6u6<O=  
     < mp_[-c  
    场追迹仿真（电磁场探测器） FvDi4[F#  
     "ed A  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Sw`+4 4  
    ;]T;mb>  
     Rg 5kFeS  
     
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