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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 |kyxa2F{  
    .?UK`O2Q  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 )sWdN(E3  
    lG;RfDI-  
    =/&ob%J)9]  
     eN fo8xUG  
    建模任务 al$G OMi  
    ))^rk 6  
    Pou-AzEP$  
    概述  +ulBy  
    |v#N  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9!zUv:;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M)C. bo{p  
    q$`{$RX  
     FVNxjMm,  
    UKMr,{iy  
    光线追迹仿真 qMD6LWJ  
    xwhH_[  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Me;@/;c(   
    •单击go！ w-*$gk]   
    •获得了3D光线追迹结果。 >H?l[*9  
    jU |0!]  
     mO;X>~K  
    *xR;}%s\  
    光线追迹仿真 C8>zr6)1  
    ,rVm81-2  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <yz)iCU?  
    •单击go！ 7Gd)=Q{uur  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 c-.t8X,5(~  
    ESp)%  
     0 Po",\^  
    KSU?Tg&JR  
    场追迹仿真 S G|``}OA  
    RL7OFfMe  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Z? u\  
    •单击go！ zim]3%b*A;  
    25]Mi2_  
    UhQ[|c  
     YzJ\< tkp  
    场追迹仿真（相机探测器） fYU/Jn#  
    (1p[K-J)r  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 $BKGPGmh  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 T8+A`z=tSb  
    )/kkvI()l  
     ]4wyuP,up  
    aTF~rAne<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） LDqq'}qK6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @9~a3k|  
    .^j6  
    u&Ts'j  
     pi7Fd\A  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >ly`1t1  
     I} a`11xb`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J4 [7*v  
    :#W40rUb  
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