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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 A9:dHOmT^U  
    |ORro r}  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xzI?'?duC  
    ,)u7PMs  
    .YYLMI  
     U&PwEh4uG  
    建模任务 948lL&  
    cq?&edjP  
    xD|/98  
    概述 b@p3iq:  
    szZ8-Y  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]&oQ6  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Zo12F**{  
    O /S:S  
     rhr(uCp/  
    QOfqW@g  
    光线追迹仿真 K4.GAGd  
    <E&[sQ|3  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Gdi8Al]\Nl  
    •单击go！ >U%:Nfo3  
    •获得了3D光线追迹结果。 D on8xk  
    76'vsg  
     ue/GB+U  
    C=y[WsT  
    光线追迹仿真 KeIk9T13O  
    JiXkW%  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 VK~ OL  
    •单击go！ ?J1x'/G  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 m0$4  
    N.l\2S}  
     qR X:e o  
    Wwf],Ya  
    场追迹仿真 bAd$ >DI[  
    VQMPs{tm  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 q ad`muAd  
    •单击go！ ophQdJM  
    HHZGu8tzt  
    #&oL iz=hZ  
     p1mY@  
    场追迹仿真（相机探测器） !.^%*6f  
    N8-!}\,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _$f XK  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 kv)IG$S 0  
    z4UJo!{S  
     Kx@Papn|6  
    \{Yi7V Xv  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :VB{@ED  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ry Kc7<  
    ~Wox"h}(  
    REaU=-m-  
     ^Hplrwj}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +)cjW"9  
     chQCl3&e^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "T?hIX/p _  
    Vw P+tM  
     ]a ,H!0i  
     
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