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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 =?5)M_6)  
    c^}y9% 4c  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Exb64n-_=  
    BJ|l  
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     eL3 _Lz  
    建模任务 u\\t~<8  
    kwjO5 OC8  
    l=DF)#>w  
    概述 bzr2Zj{4  
    v[dU UR f  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 VLuHuih  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *.W3V;K  
    qTJhYxm  
     y:'Ns$+  
    hGtz[u#p  
    光线追迹仿真 Giyh( DL  
    ale'-V)5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 z; GQnAG@  
    •单击go！ Q'OtXs 80  
    •获得了3D光线追迹结果。 AC RuDY  
    'Lu<2=a~  
     EI_-5TtRD  
    h;V 4|jM  
    光线追迹仿真 .a4,Lr#q.  
    MK1\  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 u)oAQ<w  
    •单击go！ DU^.5f  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^{M$S0g|N  
    EGXvz)y  
     2Q6;SF"Z  
    w;'XqpP$*|  
    场追迹仿真 7zu\tCWb  
    A@V$~&JCL5  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 NLy4Z:&{  
    •单击go！ 3](hMk,}  
    #pvq9fss,}  
    v>8.TE~2  
     M%E<]H2;S  
    场追迹仿真（相机探测器） Wga2).j6  
    )7 5 7   
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _vTr?jjfK  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Xb"i/gfxt  
    =u2 z3$  
     9pLe8D  
    r#zcl)rbU  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Yq ]sPE92  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Bsa;,  
    u}du@Aq  
    s#^0[ Rt  
     jg]KE8(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;W- A2g  
     ^yW['H6V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5]&sXs  
    "rB B&l  
     +La2-I  
     
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