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摘要 cYx4 ~ V^ lf>*Y.!@me 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 1Gt/Tq$_b
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 H/M Au7
O3N0Y GhJ 建模任务 qQpnLV 4 AC
O)Dt(Y  t NsPB6 Z 概述 ]0;86 4X0 1Z[/KJ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 JKer//ng4 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k5kdCC0FCk [Q\GxX.
 7nbB^2 iX'rU@C 光线追迹仿真 Xh J,"=E+ AtR?J"3E •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =9kN_:- •单击go！ t_ksvWUo •获得了3D光线追迹结果。 [4fU+D2\d Z/^ u
 [D5t{ [i zEZLKWm9- 光线追迹仿真 . (J?a" SuZ&vqS •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d:G]1k;z •单击go！ 8Ld:"Y# •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \A `hj~ IV lf= k
 9WJz~SP+vR _(m't n>
场追迹仿真 `OymAyEYQ i(? ,6)9 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 <
j$#9QQ1 •单击go！ ~[k%oA%W N_L,]QT?  nUq <TJ
Th`skK&U 场追迹仿真（相机探测器） !ZDzEP* #d{=\$= •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 T ]Nu) •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 vpPl$ga5bY `:'w@(q
 `>DP,D)w( 7 FN<iI&7\ 场追迹仿真（电磁场探测器） U|G|l|Bl •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -/ ]W+[ 8Ry74|`=R  M8k"je7`s
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fpV;5 场追迹仿真（电磁场探测器） 3R m#-T s
7^} Ll@ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )m3q2W `P Xz
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