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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 oi #B7  
    W}(A8g#6  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 'xW=qboOp  
    SB62(#YR  
    E0Wc8m"  
     ^C>kmo3J  
    建模任务 At7!Pas#@g  
    {cK<iQJ  
    P\U<,f  
    概述 (:o F\  
    |#Gxqq'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u~uzKG  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >* -I Io  
    DUOoTl p  
     pbMANZU[  
    _>gz&  
    光线追迹仿真 mGT('iTM4  
    "x,lL  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >"W^|2R  
    •单击go！ f:;-ZkIU ?  
    •获得了3D光线追迹结果。 PGTEIptX7  
    LjZlKB5C  
     osp~)icun  
    oz!)x\m*H  
    光线追迹仿真 j\}.GM'8  
    Wt.DL mO  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \@Wv{0a(  
    •单击go！ g/GI'8EMj  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =*UK!y?n  
    }k-V(  
     (5T>`7g8  
    %i9S"  
    场追迹仿真 z{XB_j6\=  
    Mc,79Ix"  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?9 huuJ s7  
    •单击go！ /|EdpHx0  
    ]\yIHdcDi  
    d`sZ"8}j  
     -`]9o3E7H  
    场追迹仿真（相机探测器） ne#dEUD  
    f;E#CjlTL  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4$-R|@,|_  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  A 3 V  
    .6y+van  
     Y9.3`VX  
    M5bE5C  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .; MS 78BR  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yfl?\X{  
    ((M,6Q}  
    d1~#@6CIz  
     K V5 '-Sv1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "L>'X22ed  
     /-M:6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XIcUoKg^  
    )fJ"Hq  
     ^O}a,  
     
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