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摘要 =?5)M_6) c^}y9% 4c 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Exb64n-_= BJ|l
,i:?c eL3 _Lz 建模任务 u\\t~<8 kwjO5OC8 l=DF)#>w 概述 bzr2Zj{4 v[dUUR f •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 VLuHuih •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *.W3V;K qTJhYxm
y:'Ns$+ hGtz[u#p 光线追迹仿真 Giyh( DL ale'-V)5 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 z; GQnAG@ •单击go! Q'OtXs 80 •获得了3D光线追迹结果。 ACRuDY 'Lu<2=a~
EI_-5Tt RD h;V4|jM 光线追迹仿真 .a4,Lr#q. MK1\ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 u)oAQ<w •单击go! DU^.5f •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ^{M$S0g|N EGXvz)y
2Q6;SF"Z w;'XqpP$*| 场追迹仿真 7zu\tCWb A@V$~&JCL5 •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 NLy4Z:&{ •单击go! 3](hMk,} #pvq9fss,} v>8.TE~2 M%E<]H2;S 场追迹仿真(相机探测器) Wga2).j6 )7 57 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _vTr?jjfK •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Xb"i/gfxt =u2 z3$
9pLe8D r#zcl)rbU 场追迹仿真(电磁场探测器) Yq ]sPE92 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Bsa;, u}du@Aq s#^0[ Rt jg]KE8( 场追迹仿真(电磁场探测器) ;W-
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^yW['H6V •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5]&sXs "rBB&l
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