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摘要 !.pcldx !:esdJH 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \3K7)o^
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 G^VOA4
EX , {1^h 建模任务 &IRM<A!8 ;0?OBUDO  Nq9M$Nt] 概述 \x4:i\Fx@ f TK84v"7_ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 lMg#zT !? •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,-(D (J;}1 pAA)?/&oKV
 EDnZ/)6Gg ./'d^9{ 光线追迹仿真 )^ 6Os2 XUUP#<,s •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 C v*K.T •单击go！ :Zob"*T •获得了3D光线追迹结果。 /e|qyWs B` +,
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 G7-k ,P^ ug;\`.nT^ 光线追迹仿真 bBo>Y7% w"QZ7EyJ •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7D' D7=Z. •单击go！ ;g2UIb?{6 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y2dml!QM v Lq%k+D#
 *|C vK&7 @8A[HP 场追迹仿真 C#)T$wl[E N@!PhP •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Q^05n$ tI •单击go！ a +~b3 /<k 5"C% z  O?A%
^~bd AO81 场追迹仿真（相机探测器） #O8=M(- V 3kF+wifsz •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 mU]^PC 2[ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 tc\ZYCFr t6\--lk_
 9zCuVUcd$. y; < }` 场追迹仿真（电磁场探测器） hJk:&!M=T •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [EZ=t k dIhfp7|  u3wd~ .
Odh r=Hs 场追迹仿真（电磁场探测器） oJ" D5d,
lq, ]E/<& •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zzW$F)X +|5 O b
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