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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 j\^ u_D  
    6Y-sc*5  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 rjJ-ZRs\  
    /U1 jCLR'  
    {z j<nu  
     xn`<g|"#  
    建模任务 : ~R:[T2P  
    A>OGU ^  
    tG"lI/  
    概述 NW=tZVQ<X  
    `J}-U\4F{  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #]_S)_Z-  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 H5 'Le{  
    wwI'n*Q'$  
     _;x7vRWmN  
    DX$zzf  
    光线追迹仿真 ~?x `f +  
    K7 N)VG  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 R/UL4R,)^  
    •单击go！ HsQ\xQ"k!  
    •获得了3D光线追迹结果。 LmA IvEr  
    Om/mpU/U  
     6d% |yl  
    6?X)'  
    光线追迹仿真 $!-a)U,w$B  
    /t<C_lLM  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 m@W\Pic,j.  
    •单击go！ TiF2c#Q*y  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ncy?w e  
    A` iZ"?  
     (H*d">`mz  
    #FHyP1uyc  
    场追迹仿真 oB8x_0#n  
    [61T$.  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 DwLl}{r'  
    •单击go！ B2uLfi$q  
    !]v&/  
    EEJsNF  
     :d5f U:  
    场追迹仿真（相机探测器） 5Tt%<#4  
    n~wNee  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 V`7^v:  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 E{-W#}#  
    .eSMI!Y=  
     >10pk  
    ;J)8#|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） \EC=#E(  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Gw;[maM!%`  
    /h!Y/\kI  
    tUp'cG  
     4GY:N6qe '  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jP-=x(  
     D}| 30s?u1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {m&8Viq1  
    Y.<&phv  
     )= ,Lfj8x  
     
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