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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 2I@d=T{K  
    +I$,Y~&`>  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 aob+_9o  
    d:X@zUR*)  
    ~O c:b>~  
     VL?sfG0  
    建模任务 X7g@.Oy`  
    mM$|cge"  
    Lhz*o6)  
    概述 rsaN<6#_^Q  
    +v.<Fw2k#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h]>QGX[kC  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %4QpDt  
    {O=PVW2S  
     f'oO/0lx  
    Ct<]('Hm(  
    光线追迹仿真 B4Fuvi  
    CiNOGSlDj  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 F%tV^$%  
    •单击go！ Dx5X6t9=  
    •获得了3D光线追迹结果。 M/mm2?4  
    bl3?C  
     ;xl0J*r  
    1s_N!a  
    光线追迹仿真 (k^o[HF  
    N;q)r  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;Zy[2M  
    •单击go！ L+X:M/)  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Due@ '  
    F+SqJSa  
     A`:a T{j  
    I !J'  
    场追迹仿真 KSAE!+  
    S aH':UN  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 OfK>-8  
    •单击go！ KDS} "/  
    *6bO2LO"  
    ;EB^1*A Ew  
     x:6c@2  
    场追迹仿真（相机探测器） |[Rlg`TQ;*  
    VTwDa*]AhB  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9Wv}g"KY0  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6Vj=SYK  
    &\y`9QpVF  
     -.OZ  
    bn%4s[CVb4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d.0K~M   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (6*  
    4:9N]1JCb  
    {SkE`u4Sz  
     r])V6 ^U  
    场追迹仿真（电磁场探测器） z*UgRLKZD  
     Am!OLGG4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5HaI$>h6  
    }a%1$>sj  
     FyQr$;r  
     
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