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摘要 =bg&CZVT c@#zjJhW] 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 v4##(~Tu
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p'!,F; xX ;AB ,:* 建模任务 "/Q(UV<d V>uW|6 4-rI4A< 概述 jLS]^| :h^UC~[h 3 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 O8N0 ]Mz •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 la{uJ9Iw@} -x\l<\*
_7"W\gn:9 RkP|_Bf8) 光线追迹仿真 d#:J\2V"R p}|wO&4h •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4x?u5L
9o •单击go! UkbQ'P+oS •获得了3D光线追迹结果。 H1qw1[%0y `[:1!I.}-
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|q 光线追迹仿真 ',s7h" :9q^ •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5N+(Gv[`" •单击go! dB)hW'J? •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ]%8;c >P"/nS"nn
+Qb/:xQu pz}hh^]t 场追迹仿真 f>[;|r@K &0Zk3D4 •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 xQ
3u •单击go! mf[79:90^ ~EkGG
. kGiw?~t=% 3CuoBb8 场追迹仿真(相机探测器) }gRLW2&mR> \1'R}B@; •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 V*uu:
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 g@f/OsR76 [m[~A|S
GJfNO- Riuv@i^6K 场追迹仿真(电磁场探测器) ,5uDEXpt{ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 FGhrf d6
EJn/ B_jI!i{N%o f|1FqL+T] 场追迹仿真(电磁场探测器) F
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