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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 B3]q*ERAo  
    xf?*fm?m  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 [ K;3Qf)  
    {xp/1? Mo*  
    hdp;/Qz&  
     ,n}X,#]  
    建模任务 3VbMW,_&"  
    tpO%)*  
    mTT1,|  
    概述 ?k]^?7GN  
    { ,qm=Xjq  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 X<m#:0iD  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9sifc<za  
    v{"$:Z ow  
     +ZEj(fd9  
    iF?4G^  
    光线追迹仿真 %Iw6oG  
    ] hGU.C"(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 anjU3j  
    •单击go！ V<Q''%k  
    •获得了3D光线追迹结果。 1~Zmc1]  
    }eetx68\  
     'z8?_{$   
    o<`Mvw@Z  
    光线追迹仿真 +] >o@  
    D |kdk;Xv  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]*|+06  
    •单击go！ c"Ddw'?e  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $' }rBPA/  
    _ ]@   
     8i/5L=a"`  
    Kur3Gf X  
    场追迹仿真 O%L]*vIr  
    %wWJVq}jx  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 mD<- <]SYp  
    •单击go！ d(9ZopJrQ  
    ,$s NfW  
    e` 9d&"  
     ]-h;gN  
    场追迹仿真（相机探测器） #m=TK7*v  
    ],#Xa.r  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \9j +ejGf  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 A[:0?Ez=  
    'c7C*6;a  
     ICA p  
    :}'5'oVG  
    场追迹仿真（电磁场探测器） p5`iq~e9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LH/lnrN  
    ovm109fTx  
    0M=A,`qk  
     j5\z7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Od_xH  
     .aS`l~6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }huj%Pnk )  
    )` ~"o*M  
     q:h7Jik  
     
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