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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 | Kw}S/F  
    wl5+VC*l0  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 bIy:~z5   
    |C`.m |  
    \f4JIsZ-&  
     }.t8C y9G  
    建模任务 GUcGu5tw:  
    R>B4v+b  
    WH lvd  
    概述 6 ~+/cY-V  
    z8JdA%YBM  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _>u0vGF-  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \1nj=ca?  
    @+&QNI06S  
     kWZ/O  
    ^kh@AgG^  
    光线追迹仿真 =bh.V@*  
    "JpnmE[`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4l?"zv1  
    •单击go！ QHPC?a6CD  
    •获得了3D光线追迹结果。 f9a_:]F  
    BvqypLI  
     4l~B/"}  
    r0:I  
    光线追迹仿真 ,}23  
    #xNXCBl]O  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \(;X3h  
    •单击go！ IRK(y*6  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 &XZS}n  
    j-(k`w\  
     ZnZ`/zNO  
    " "{#~X}  
    场追迹仿真 xC YL3hl  
    cIOM}/gqv  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;S}_/'  
    •单击go！ dS)c~:&+  
    @ $2xiE.[  
    't#E-+o  
     tWa_-Un3  
    场追迹仿真（相机探测器） V)3S.*]  
    s^>1rV]=(`  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s\io9'Ec  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 eGk`Z>  
    n+H);Dg<8  
     W?2Z31;7  
    ,+o*>fD  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :FWo,fq?:{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7#9yAS+x(  
    69JC!du  
    1zWEK]2.R  
     0k 6S`e9gI  
    场追迹仿真（电磁场探测器） v6*8CQ+  
     =N<Z@'c  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m8NKuhu  
    ]x^v;r~  
     +kZW:t!-  
     
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