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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ixD)VcD-f  
    [IhYh<i  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {{p7 3 'u  
    *!7 O~yQ  
    s-T\r"d=j  
     dlTt _.  
    建模任务 [HZv8HU|  
    .0]<k,JZZ  
    Z?m3~L9L2  
    概述 6~w@PRy  
    WI-1)1t  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %8~NqS|=  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 r<^HmpUJ  
    ;;N9>M?b  
     NHZz _a=  
    ^$hH1H+V  
    光线追迹仿真 %OOl'o"V{s  
    _zi|  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 wDe& 1(T^  
    •单击go！ [3|P7?W/  
    •获得了3D光线追迹结果。 nc|p)  
    0.k7oB;f(@  
     K(,F~ .<  
    V[Ui/M!9Z  
    光线追迹仿真 Z}Ft:7   
    @r/n F5  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 b}TS0+TF  
    •单击go！ HRfYl,S,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _>X+ZlpU:  
    rCdu0 gYT  
     y/ ef>ZZ  
    O[JL+g4  
    场追迹仿真 I(BQ34q  
    4u})+2W  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {[?(9u7R  
    •单击go！ n]o<S+z  
    X?qK0fS  
    6gu!bu`~  
     n[Y~]  
    场追迹仿真（相机探测器） .jjG(L  
    A*547=M/(j  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 fHd#u%63K  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 mSl.mi(JiZ  
    > jc [nk  
     &(l9?EVq1  
    0[?Xxk}s0  
    场追迹仿真（电磁场探测器） fSvM(3Y<Qh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %S^8c  
    [ ~c|mOk  
    jLHkOk5{:  
     @>Km_Ax  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x\G'kEd  
     |"CZT#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 aNspMJ  
    A0 C,tVd  
     Zw S F^  
     
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