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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 UnMDdJ\  
    )a6i8b3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Gmc"3L  
    LnL<WI*Pq  
    :L?zk"0C  
     un/R7 "  
    建模任务 +GGj*sD  
    ht-6_]+ME  
    XNl!(2x'pb  
    概述 Kfr?sX  
    kP6r=HH@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `2Z=Lp  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 L\B+j+~  
    Jv?e ?U  
     `=>Bop)  
    p$=3&qR 6  
    光线追迹仿真 #}gc6T~0  
    msCAC*;,  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 i a|F  
    •单击go！ IW46-;l7  
    •获得了3D光线追迹结果。 HC0puLt_  
    '2vlfQ@8a~  
     WGO=@jkf  
    COT;KC6 n  
    光线追迹仿真 ewLr+8  
    N;w1f"V}  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 gsR"d@!  
    •单击go！ sM4wh_lO  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AD5tuY  
    #eaey+~  
     J>'o,"D  
    `?$R_uFh:  
    场追迹仿真 QO k%Q$^G  
    Jk~T.p?tF  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 h%O`,iD2  
    •单击go！ SAoqq  
    j4l7Tx  
    }Bb(wP^B.  
     MHbRG_zW  
    场追迹仿真（相机探测器） 4*54"[9Hr#  
    :{fsfZXXr  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _S[H:b$?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 /yOd]N;$  
    dfrq8n]  
     -py.Y Z  
    5p>a]gp  
    场追迹仿真（电磁场探测器） hZFbiGQr\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %mq]M  
    @M,_mX  
    4j | vzyc  
     1{~9:U Q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 5P! ZJ3C  
     "[8](3\v  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %'>. R  
    $'&5gFr9  
     -r,J>2`l  
     
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