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摘要 | K w}S/F wl5+VC*l0 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 bIy:~z5
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\f4JIsZ-& }. t8Cy9G 建模任务 GUcGu5tw: R>B4v+b WH l vd 概述 6~ +/cY-V z8JdA%YBM •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _>u0vGF- •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \1nj=ca? @+&QNI06S
kWZ/O ^kh@AgG^ 光线追迹仿真 =bh.V@* "JpnmE[` •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4l?"zv1 •单击go! QHPC?a6CD •获得了3D光线追迹结果。 f9a_:]F BvqypLI
4l~B/"} r0:I 光线追迹仿真 ,}23 #xNXCBl]O •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \(;X3h •单击go! IRK(y*6 •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 &XZS}n j-(k`w\
ZnZ`/zNO "
"{#~X} 场追迹仿真 xC
YL3hl cIOM}/gqv •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;S}_/' •单击go! dS)c~:&+ @ $2xiE.[ 't#E-+o tWa_-Un3 场追迹仿真(相机探测器) V)3S.*] s^>1rV]=(` •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s\io9'Ec •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 eGk`Z> n+H);Dg<8
W?2Z31;7 ,+o*>fD 场追迹仿真(电磁场探测器) :FWo,fq?:{ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7#9yAS+x( 69JC!du 1zWEK]2.R 0k6S`e9gI 场追迹仿真(电磁场探测器) v6*8CQ+ =N<Z@'c •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m8NKuhu ]x^v;r~
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