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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 [FB&4>V/  
    7. %f01/i  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 --Oprl  
    9#u}^t  
    lNHNL a>W  
     {b(rm,%  
    建模任务 9^oo-,Su_  
    :ezA+=ENg  
    fb /qoZ  
    概述 l#Yx TY  
    #De(*&y2  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3KtAK9PT  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 CP +4k.)*O  
    Hr8\QgD<4  
     YQ52~M0L  
    6mwvI4)  
    光线追迹仿真 L5/mO6;k  
    B jYOfu'~z  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \kxh#{$z?  
    •单击go！ "rVU4F)  
    •获得了3D光线追迹结果。 fc3 Fi'^  
    {h,_"g\V  
     C}9Kx }q  
    `\wUkmH  
    光线追迹仿真 N.jA 8X  
    Z^<Sj5}6  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &T7cH>E'K^  
    •单击go！ R+s1[Z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 WI6(#8^p  
    'v\j.j/i  
     L/)B}8m\  
    ;:U<ce=  
    场追迹仿真 ANotUty;y  
    F, zG;_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :v_w!+,/  
    •单击go！ ZlrhC= 0  
    0F1u W>D1  
    b9y)wBC%`  
     J=@xAVBc  
    场追迹仿真（相机探测器） M"B@M5KT  
     ER_ 3'  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 BO"qD[S  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 g*F~8+]Y  
    +|9f%f6vp  
     )&Mq,@  
    ZEqE$:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） } #qQ2NCH  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LaclC]yLU  
    2Q}7fht  
    L $SMfx  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） Si]X rub  
     QhsVIta  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PGkCOmq   
    'aZAS Pn[  
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