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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 5NkF_&S_1  
    _)@G,E33f@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6l,6k~Z9  
    WiZkIZ  
    N[9o6Nl|a  
      Ju5Dd\  
    建模任务 zEjl@Kf  
    |`yU \  
    /.s L[X-G  
    概述 b+Sj\3fX  
    =ZS Yg K  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 o>*`wv  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `?T::&`  
    uf]wX(*<k  
     Vuy%7H  
    ka=A:biz  
    光线追迹仿真 ZK ?V{X{";  
     irh Z  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 F.(W`H*1+  
    •单击go！ %-YWn`yEm  
    •获得了3D光线追迹结果。 BZOl&G(  
    ` *hTx|!'  
     o^5UHFxTCB  
    nYC.zc*ox  
    光线追迹仿真 alxIc.[  
    bs}SFTL  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Tb^1#O  
    •单击go！ pVl7] _=m  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 p  Dg!Cs  
    X'.l h#&  
     ">B&dNrt  
    lX.1B&T9Lr  
    场追迹仿真 ao7M(f  
    /_JR7BB^X,  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /:-ig .YY  
    •单击go！ /=V!lRs  
    FYNUap,A  
    { zL4dJw  
     JFu.o8[Q  
    场追迹仿真（相机探测器） @<OsTF L  
    f&F9ImZ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (w_b  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 *?Oh%.HgF  
    g}?39?o4  
     79Aa~+i'_  
    (RUc>Qi  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _x-2tnIxXv  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 u3cg&lEgT  
    ko{&~   
    zzC{I@b  
     e Z L!Z!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C9Cl$yZ  
     ?r$& O*;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?<OE|nb&  
    t}K8{ V  
     8XfOM f~d`  
     
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