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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 W8`6O2  
    FnVW%fh  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \="U|LzG  
    nv0D4 t  
    A%EhRAy  
     ;\pINtl9<  
    建模任务 :icpPv  
    f.` 8vaV  
    noaR3)  
    概述 hc$m1lLn  
    C!547(l[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7gLk~*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 w)K547!00  
    .>,Y |  
     g#fn(A  
    GYy8kp84  
    光线追迹仿真 =KO]w9+\  
    @lM-+q(tl  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 T/u61}'U{  
    •单击go！ V4u4{wU]  
    •获得了3D光线追迹结果。 G$_)X%Vb I  
    |H8C4^1Rq  
     vp&.  
    hG`@#9|f  
    光线追迹仿真 #N`MzmwS  
    N:'GNMu  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ht43G_.j  
    •单击go！ [+5g 9tBJ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O|Vc  
     3bd`q $  
     Mx0~^l  
    H{_D#It  
    场追迹仿真 2 N(Z^  
    $uwz` N:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #v$wjqK5  
    •单击go！ RI<s mt.Ng  
    ( !m6>m2  
    c#u_%*  
     /J"fbBXwY  
    场追迹仿真（相机探测器） V]]!0ugvk(  
    -#<{3BJTrz  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 19% "F!^i  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }/tf^@  
    #CJ ET  
     {[bpvK  
    Bk~lM'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） S+Ia2O)BA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F;/^5T3wI  
    Wd+kjI\  
    @b2?BSdUp  
     iVVR$uzhH  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $\k)Y(&  
     L>Ze*dt  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 U7fNA7#x"  
    ~Sf'bj;(  
     jL)Y'  
     
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