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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 u|:UFz^p  
    {H~8'K-  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #8WR{  
    2J>A;x_?  
    kV]%Q3t  
     ba8-XA_~U  
    建模任务 r!-L`GUm  
    }lr fO_  
    *NX*/(Q  
    概述 p~k`Z^ xY$  
    C {H'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #I*ht0++  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 s\n,Z?m  
    Nys'4kx7  
     z}Mb4{d1  
    V2<k0@y  
    光线追迹仿真 ta+"lM7A}$  
    #o}{cXX#  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 PN)TX~}  
    •单击go！ cfO^CC  
    •获得了3D光线追迹结果。 ,vHX>)M|  
    A~ %g"  
     "O"^\f  
    JsoWaD  
    光线追迹仿真 RvgAI`T7$  
    }f0^9(  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V< 9em7  
    •单击go！ X/?h!Y}  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {0m[:af&  
    R4K eUn"  
     [{d[f|   
    wft:eQ  
    场追迹仿真 LTlC}3c28f  
    VS@rM<K{  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^ZViQ$a"h;  
    •单击go！ nk?xNe4  
    N]P*6sf-6  
    l1.Aw|'D  
     Y-q,Ovf!  
    场追迹仿真（相机探测器） 5{x[EXE'  
    SieV%T0t1  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "e!$=;5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 @"#gO:|[i0  
    4OESsN$O  
     ;*$8iwBQ_  
    ?28G6T]/?d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） xQ(KmP2hl  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]nr BmKB  
    9zGKQ|X)  
    D;;o  
     oXZ@*   
    场追迹仿真（电磁场探测器） T_|fb)G+{  
     5a/ A_..+I  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 '/]Aaf@U8  
    ThiPT|5u  
     m{=~| I  
     
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