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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 W} +6L|  
    w]}cB+C+l#  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 dT-O8  
    '5+, lRu  
    q~A|R   
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    建模任务 BDm H^`V  
    0BU:(o&  
    ;U:o'9^9T  
    概述 :ftyNaq'  
    qcoZ2VJ hh  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 &wWGZ~T  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 =P+wp{?AN|  
    C@:N5},]  
     xVmUmftD  
    Y~\xWYR  
    光线追迹仿真 kTe<1^,m  
    5D@Q1   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 OsuSx^}  
    •单击go！ WlJRKM2  
    •获得了3D光线追迹结果。 U";Rp&\3;  
    PYRwcJ$b\d  
     hD~/6bx  
    AT8,9  
    光线追迹仿真 9"v ox   
    ZCq\Zk1O&  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 K^p"Z$$  
    •单击go！ xuC6EK+  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZkG##Jp\>  
    tbt9V2U:"n  
     ,PtR^" Mf4  
    cN(QTbyl6Q  
    场追迹仿真 \fGYJ37  
    PzG:M7  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 p{_ O*bo  
    •单击go！ S%%qn  
    D}=i tu  
    PDiorW}]k  
     (?=(eo<N  
    场追迹仿真（相机探测器）   rs KE  
    |[t=.dK%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Z\yLzy#8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (W6\%H2u  
    5_T>HHR 6  
     NQ{Z   
    {twf7.eY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） EG=>F1&M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 cnO4N UDv  
    o ieLh"$  
    [<yUq zm  
     ZI*A0_;L  
    场追迹仿真（电磁场探测器） E<_6O Cz  
     0iq$bT|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~w% +y  
    ziip*<a !_  
     8i~'~/x  
     
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