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摘要 @&2T0UB Ay2|@1e 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 DU[UGJg
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2&=;$2?} 建模任务 #s]]\ b"f 4}b  Yq2 mVo 概述 <89 js87 ;JAe=wt^'I •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =Qz 8"rt# •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u `("x5sa UQTt;RS*zS
 X @\! \ %GHHnf%2Z 光线追迹仿真 4q~l ?*S 55yP.@i9J •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 t( ZiQ<A •单击go！ [bv.` •获得了3D光线追迹结果。 57HMWlg @NV$!FB<
 < xc"y|7X O81})r *Y 光线追迹仿真 Nzr zLK 6}| /~n •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 lffw7T~ •单击go！ (j cLzq •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 K` U\+AE ~v<r\8`OI2
 6o{anHBB ,@ [Q: fY 场追迹仿真 g p$+Qd ;jnnCXp> •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 fT
8"1f|w •单击go！ }TYC F @ ch< zpo:  C \ }m_`MR
Ebp8})P/~ 场追迹仿真（相机探测器） 3xj<ATSe op}x}Ioz •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }3vB_0[r •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 aY"qEH7] JU"!qXQr
 ,Z H)[P)5P ef| Y2<P 场追迹仿真（电磁场探测器） E!ZDqq •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o_={x rmIA czedn_}%Q  ;/e! !P]jP
]C]tLJ!M 场追迹仿真（电磁场探测器） N8m^h: b
)Hw;{5p@ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |w\D6d]o 'kYV}rq;l
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