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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ~|W0+&):  
    Z )Imj&;  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 kNC.^8ryz[  
    U<T.o0s=  
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     M:%6$``  
    建模任务 /O,>s  
    _G$SA-W(  
    hLs<g!*O  
    概述 uc0 1{t0,  
    HR.^ y$IE  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :5Y yI.T  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 MCPVql`+`q  
    |rjHH<  
     -4rXOmiA  
    +XaRwcLC.  
    光线追迹仿真 P}YtT3. K  
    O)0}yF$0  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }OQaQf9V{  
    •单击go！ 1z .  
    •获得了3D光线追迹结果。 |E%i t?3M  
    d|P,e;m-  
     I:~KF/q  
    cRR[ci34k  
    光线追迹仿真 S JseP_-  
    *En29N#a{  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O\3 L x  
    •单击go！ JEw+5 MO@  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 pKxsK^O5[  
    JJIlR{WY_  
     Q9i&]V[`  
    q <, b  
    场追迹仿真 "aU) [  
    :.k1="H~@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >yZe1CP  
    •单击go！ nrhzNW>]  
    I]4L0r-  
    _u[2R=h  
     (6y[,lYH  
    场追迹仿真（相机探测器） }@)r\t4m  
    (G>S`B  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ipp#{'Do  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 '-,$@l#  
    [NxC7p:Lo  
     KQf=t0Z=Ce  
    J]!&E~Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） L:.z FW,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +jEtu[ ;  
    TR<M3,RG#%  
    yb-1zF|  
     Jw 4#u5$$Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~nVO%IxM4J  
     X7bS{GT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 & t.G4  
    rIh"MQvi[  
     /wR,P  
     
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