切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 617阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6354
    光币
    25915
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 m9 D' yXZ  
    6Us*zKgW  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 d@e2+3<  
    +X|^ ~)tMJ  
    IT=<p60"  
     n,8bQP=&  
    建模任务 n>\2_$uDI  
    =&"x6F.`  
    9HBRWh6  
    概述 vj hh4$k  
    &^1{x`Qo=  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~zph,bk  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \zM3{{mV/  
    9L9qLF5 t  
     ^< wn  
    x#c%+  
    光线追迹仿真 lXOT>$qR<  
    UNJAfr P  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =]m,7v Rq  
    •单击go！ c 4Wl^E 8  
    •获得了3D光线追迹结果。 GW\66$|  
    z6x`O-\  
     &"'Z)iWm  
    SBh"^q  
    光线追迹仿真 28x:]5=jb  
    Z )'gj  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 P]%)c6Uh  
    •单击go！ UWo*%&J  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 pi;'!d[l%  
    ,4H/>yPw  
     >vKOG@I  
    )zK@@E  
    场追迹仿真 lFZl}x  
    A5?q&VS}p  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (C.<H6]=  
    •单击go！ "X,*VQl:  
    l?)!^}Qc  
    OAo;vC:^  
     L25%KGg' o  
    场追迹仿真（相机探测器） uZe"M(3r$  
    j06qr\Es  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \dJOZ2J<z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Nk;ywC"e;  
    TXo`P_SE  
     1\ Gxk&  
    3 nnoXc'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） SW)jDy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SZ1yy["  
    NOFuX9/'w  
    t W}"PKv  
     \>[k0<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） %U6A"?To  
     Z -fiJ75  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WS//0  
    7#(0GZN9h%  
     aM+Am,n`@  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表