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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 _DrJVC~6@  
    u7xDau(c  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 rJa$9B*^  
    (ZL sB{r^  
    gORJWQv  
     8scc%t7  
    建模任务 'kYwz;gp  
    :5/Uh/sX  
    gPu2G/Y  
    概述 S,U Pl}KF  
    uNn[[LS  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 11|Rdd+}  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 f50L,4,  
    Y-'78BJk  
     pA;-v MpMj  
    v4RlLg dS%  
    光线追迹仿真 BC,.^"fA6  
     be e5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 rCS#{x  
    •单击go！ .>wv\i [p  
    •获得了3D光线追迹结果。 DAg58 =qJ  
    QI]Ih  
     BS q)RV/3  
    \uME+NF  
    光线追迹仿真 .[u> V  
    15$4&=O  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 : L_BG)dM  
    •单击go！ p#SY /KIw  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 D0mI09=GtQ  
    ,Rx{yf]k  
     w'X]M#Q><  
    ;. wX@  
    场追迹仿真 w#N?l!5  
    "lNzGi-H  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5'w^@Rs5  
    •单击go！ 'a^{=+  
    G pbC M~x  
    SEl#FWR  
     Y~)T  
    场追迹仿真（相机探测器） 4wi(?  
    8F)G7 H ,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 y fSM  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 0F#>CmD  
    ds[QwcV9-  
     "+?Cz !i   
    hh~n#7w~IR  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;WT{|z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 H0a/(4/xg  
    ;NV'W]  
    Jdy <w&S  
     0)9"M.AIvo  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;eigOU]  
     \n9A^v`F/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y[O-pD`  
    l{ex?  
     8hA^`Y  
     
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