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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 dX<UruPA  
    F"LT\7yjyG  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 G|o-C:~  
    ym:JtI69   
    y jb.6  
     MtS$ovg?  
    建模任务 ] O 2_&cs  
    8F%T Z M  
    8s|r'  
    概述 ]UMwpL&rY  
    1 %*X,E  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9"/{gf3D  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 3>;U||O  
     3o/f#y  
     \HRQSfGt  
    p_qH7W  
    光线追迹仿真 3b|.L Jz+  
    {C 7=  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #Qkl| h  
    •单击go！ ,2u]rLxx;  
    •获得了3D光线追迹结果。 ow+NT  
    v%_sCg  
     m|p}Jf!  
    kQ|}"Tw7  
    光线追迹仿真 Z$2mVRS`c  
    guBOR 0x`  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 fE7Kv_N-%  
    •单击go！ 2 !{P<   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 enZW2o97c  
    NAL%qQ  
     #LF_*a0v  
    d`^j\b>5(  
    场追迹仿真 UUX _x?BD  
    { Ke3  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iTD{  
    •单击go！ V$@@!q  
    m`n51i{U  
    I4u'b?* je  
     W.>yIA%  
    场追迹仿真（相机探测器） InRn!~_N  
    AX[/S8|6  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 E|#'u^`yv  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ;u , 5 2  
    SxMh '  
     H,] D}r  
    gm4-w 9M[p  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @"Do8p!*(6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (gz|6N  
    }k'8*v}8  
    D4_D{\xhO  
     owQLAV  
    场追迹仿真（电磁场探测器） `4XfT.9GT  
     Ii SO {  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ](^VEm}w;  
    AQ@A$  
     `Q}.9s_ri  
     
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