切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 481阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5801
    光币
    23157
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 6Y\TVRR  
    HH7WMYoKY  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :vEfJSA 1<  
    |O>e=HC#q8  
    #o} /'  
     y7!&  
    建模任务 cMT:Ij];  
    }PBL  
    X\H P{$fY_  
    概述 8]vut{  
    RV{%@1Pu  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 fgj$ u  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B=n90XO |  
    r^msJ|k8[  
     nj;3U^  
    Z8ivw\|M8  
    光线追迹仿真 Ag+B*   
    eHs38X  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 <+q`Dk  
    •单击go！ NrXIaN  
    •获得了3D光线追迹结果。 gfIS  
    c u";rnj  
     Da8gOZ  
    wzxV)1jT  
    光线追迹仿真 6la'\l#  
    N;-%:nC  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 J %A=  
    •单击go！ )7+z/y+[n  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2(~Zl\  
    5RWqHPw+  
     iZ}c[hC'3`  
    H?Sv6W.~  
    场追迹仿真 nu1XT 1q1  
    t,/8U  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 0nD?X+u  
    •单击go！ \*{MgwF  
    Bnk<e  
    dwUDhQt3Q  
     pi#a!Quf\  
    场追迹仿真（相机探测器） Z+6WG  
    )nj fqg  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tl~ZuS/  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 YCb|eS^u  
    w[ 3a^  
      03zt^<  
    ZD|F"v.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |X XO0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rloxM~7!,)  
    Srmr`[i  
    1##@'L|u  
     y!x[N!a  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0$-|Th:o  
     Ev3'EA~`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 svxjad@l/  
    1c]{rO=taN  
     Rsq EAdZw[  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表