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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 JLoE)\Mi  
    {c LWum[SY  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 AI{0;0  
    sg}<()  
    K,|3?CjS  
     w%)RX<h dI  
    建模任务 C Q iHk  
    <kwF<J  
    6 ]<yR> '  
    概述 2h*aWBLk  
    9IG<9uj  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h;r^9g  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \vc&V8  
    4Y1^ U{A+  
     f B]2"(  
    3PRU  
    光线追迹仿真 ip{ b*@K  
    |r;>2b/ x  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7zE1>.  
    •单击go！ !J<0.nO/:  
    •获得了3D光线追迹结果。 o(l%k},a  
    GtIAsC03  
     T8&sPt,f  
    m3P7*S5NJ7  
    光线追迹仿真 M3]eqxLC  
    q^wSM  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 hH;i_("i(h  
    •单击go！ Xf7]+  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 30Qp:_D  
    ]K>bSK^TX  
     o::9M_;  
    f!5w+6(  
    场追迹仿真 b|kL*{;  
    |G6'GTwZD  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I D-I<Ev  
    •单击go！ xpuTh"ED  
    |+sAqx1IF  
    -p7 HQ/  
     x]%,?Vd?  
    场追迹仿真（相机探测器） 5i'?oXL  
    B]gyj  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]qq2VO<b  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Tl-%;X<X  
    f61vE  
     zYdieE\-  
    !e |Bi{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,g"JgX  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 V7gL*,3>=  
    awQGu,<N  
    })(robBkA  
     |{ZdAr.;  
    场追迹仿真（电磁场探测器） FBouXu#  
     lm&^`Bn)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Nqd9)WQ  
    Wk/Q~ o  
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