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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 *zy0,{bl  
    %@{);5[  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 46dh@&U  
    Z;_WU  
    dfo{ B/+  
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    建模任务 uL!{xuN  
    >4.{|0%ut  
    8yH) 8:w  
    概述 m(Cn'@i`"0  
     [;D4,@A  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 b "4W` A  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Vl!Z|}z  
    /R< Q~G|\  
     1_7}B4  
    1e;^Mz B"  
    光线追迹仿真 /._wXH  
    MS6^= ["  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :Q\b$=,:  
    •单击go！ bf `4GD(  
    •获得了3D光线追迹结果。 bgd1j,PWbW  
    Got5(^'c  
     G1Cn[F;e  
    ;b$(T5  
    光线追迹仿真 S2" p(  
    .h^."+TJ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 -\j}le6;c  
    •单击go！ =F ZvtcCa  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9[|Ql  
    4ow)vS(  
     77OH.E|$  
    {vAq08  
    场追迹仿真 H~@E&qd  
    =%|S$J  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 S@zsPzw  
    •单击go！ gydPy*  
    PK u+$  
    r9G<HKl  
     )[6H!y5  
    场追迹仿真（相机探测器） |-I[{"6q$@  
    l?B\TA^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 o\8yYX  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 bzmT.!  
    AFl]w'=  
     ]]+wDhxH  
    K!k,]90Ko  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }}Eko7'^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y1/$dn  
    6d,jR[JP  
    gmWRw{nS+  
     &`<j!xlG  
    场追迹仿真（电磁场探测器） OUe@U;l{Z  
     G6Z2[Ej1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?K{CjwE.M  
    Z*nC ;5Kd  
     y-{^L`%Mk  
     
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