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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 ry'^1~,  
    TNPGw!  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0&rH 9  
    m1$P3tZPn  
    Wn,g!rB^@  
     e~ 78'UH  
    建模任务 u, SX`6%  
    E?q'|f  
    @n;YF5  
    概述 1\608~ZH  
    _]r)6RT  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 yY g&'3  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ]MA)=' ~  
    TcKKI  
     g`8 mh&u%  
    x]J-q5  
    光线追迹仿真 ohtn^o;C}  
    1yRd10  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 U/&qV"Ih  
    •单击go！ Jp*AIj  
    •获得了3D光线追迹结果。 l<K.!z<-:8  
    k&"qdB(I  
     <ZvPtW  
    B?YfOSF=5  
    光线追迹仿真 \ -iUuHP  
    5~R{,]52  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 nu9k{owB T  
    •单击go！  { e  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !/(}meZj  
    2Ku#j ('  
     N8(x),  
    NizJq*V>  
    场追迹仿真 , G/X"t ~  
    A`/7>'k/q[  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :pjK\  
    •单击go！ r`g;k&"a  
    _ktSTzH0  
    _C8LK.M#j  
     yhn $4;m  
    场追迹仿真（相机探测器） Jsnmn$C  
    -Jrc'e4K  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 IguG0 3:.N  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 qlT:9*&g  
    0|Ft0y`+  
     R]s jG <  
    l45F*v]^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :Du{8rV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d@4=XSj  
    -^ ayJ73  
    1 'pQ,  
     ^[z\KmUqt  
    场追迹仿真（电磁场探测器） %7wzGtM]ps  
     5.HztNL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8A]q!To  
    W",jZ"7  
     p;Ok.cXVp  
     
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