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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 qw$9i.Z  
    b*(K;`9)B  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 (uDAdE5  
    ZY8w1:'  
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     UWnF2,<s;  
    建模任务 E}KGZSj  
    z"T+J?V/  
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    概述 {Ef.wlZ  
    uJCp  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v$0|\)E)  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 =^GPQ_"  
    .;Mb4"7=  
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    nShXY6bA  
    光线追迹仿真 24nNRTI  
    5q*s_acQ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l;KrFJ6  
    •单击go！ >I0;MNX  
    •获得了3D光线追迹结果。 aPzn4}~/_  
    c+&Kq.~K  
     WKiP0~  
    >t.Lc.  
    光线追迹仿真 ?IYu"UO<)|  
    $1 "gFg  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1&! i:F#  
    •单击go！ R;!@ xy  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 CV\^gTPmx  
    &:5*^1oP  
     McN[  
    ;  ?f+  
    场追迹仿真 J{^md0l  
    :P}3cl_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 b6 %m*~  
    •单击go！ |,p"<a!+{w  
    {=3A@/vM  
    {daX?N|V  
     g kO^J{_@q  
    场追迹仿真（相机探测器） 2zqaR[C  
    m_*wqNFA6  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `X5!s  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _$96y]Bpi  
    tu<<pR>  
     3!b $R?kZ  
    U!o7Nw@ z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |dLr #+'az  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nf^?X`g  
    kW)3naUf<  
    z'm}p  
     !h4T3sO  
    场追迹仿真（电磁场探测器） o[cOL^Xd1  
     zawu(3?~)5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R1X'}#mU  
    &'$Bk5D@G  
     <4LJ #Fx  
     
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