-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-09-29
- 在线时间1866小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 NTb mI$( HI sIW%B 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ; wK;
A<fKO <d
 <2"' R(4",
op U=49 b 建模任务 ?x1sm"]p' ;h<(vc3@f  (~q.YJ' 概述 LmWZ43Z"@ qIS9.AL •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 d uFVh8 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lqe|1vN `u$
Rd
 b"H c==` &&T\PspM 光线追迹仿真 Z}#'.y\ f CT1@J-np •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1y'8bt~7Pf •单击go！ `?E |frz[ •获得了3D光线追迹结果。 >Q3_-yY+ d9e_slx
 QxS] 6hA =z^ 2KH 光线追迹仿真 #{K}o} VzD LG LH •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Oy
EOb> •单击go！ .j^tFvN~L •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |y1O M !l NCuR/T
 M$_E:u&D 7.)kG}q] 场追迹仿真 %hDx UZ#0 uDD{O~wF, •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~&HP }Q$#f •单击go！ mxD]`F [x{z}rYH  ^Gi9&fS,
q8A ;%.ZLG 场追迹仿真（相机探测器） *$e1Bv6
$ Db4(E*/pj! •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 O| K-UTWH% •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 =z >d GIT1 `A\,$(q+
 ]2E#P.-!b %#t* 3[ 场追迹仿真（电磁场探测器） ?vt#M^Q
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 f/xQy}4+~E g G Z-B<  M>qqe! c*
mr mm@? 场追迹仿真（电磁场探测器） B(|*u
>0F)^W? •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CP0;< }k /U$5'BoS
 J.;! l
|
