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摘要 e'>q( B 'da
'WZG 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 (8aj`> y
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{g#4E0.A! 建模任务 4w~%MZA^ A+!,{G  8q%y(e 概述 70GBf" ax>j3HKi •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (ix. •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,[IDC3.4^R Db<#gH
 Vi: ^bv P
woiX#vz 光线追迹仿真 %0} ^M1 );%H;X+x •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 w6Nn x5Ay •单击go！ R2n
2mQ < •获得了3D光线追迹结果。 aUzCKX%>C 4MS#`E7LrC
 m)} 0 1N4 p09p/ 光线追迹仿真 ghWWJx9 Qw:!Rw,x •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >xabn*Kq •单击go！ R?O)v Lmd •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +:uz=~m o` MNWI%*0LO
 y0sce /$CTz xd1 场追迹仿真 jtlRom} t|eH'"N%o •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~<f[7dBv •单击go！ l@Vv%w9H ;5b d<N  V-}}?c1 F
IO)# O< 场追迹仿真（相机探测器） ^APtV6g !*}UP|8 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <kdlXS>J. •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 <- !1`@l> 4lB??`UN
 bO2?DszT5 vUJ; D 场追迹仿真（电磁场探测器） N
o6!gZ1 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,< x/ )^ Y+Vn  bsF_.S*k@
(tX3?[ii 场追迹仿真（电磁场探测器） Fs( PVN
Sy|GM~ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +Cw_qS"= hr}f5Z)^v
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