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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 .T~Oc'wGo  
    ph7]*W-  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 S]c&T`jx  
    ^{O1+7d[.  
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    建模任务 R{Me~L?  
    7a%)/ )<D  
    }K 2fwE  
    概述 N<HJ}geC "  
    #/>OW2Ny  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 {k<mN Y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $)j f  
    q+ 9c81b  
     $r(9'm}W  
    w"h3e  
    光线追迹仿真 3gs7Xj%N  
    mx0EEU*  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 c38ENf  
    •单击go！ Vfr.Yoy  
    •获得了3D光线追迹结果。 lM%3 ?~?Q&  
    ekSSqj9";  
     JHsxaX;c  
    =i Wn T  
    光线追迹仿真 ;<K#h9#*7  
    oMb@)7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 WP? AQD  
    •单击go！ P?`a{sl.  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 =zwn3L8fL  
    TDW\n  
      bR83N  
    ^" UZ.@sq'  
    场追迹仿真 /V E|FTs  
    3m/XT"D  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Nb/Z+  
    •单击go！ |il P>b  
    67P@YL  
    03dmHg.E!E  
     a~Y`N73/c  
    场追迹仿真（相机探测器） Au{J/G<W@  
    nW_cjYS%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :sJQ r._L  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  D ~t  
    w@hbY:Z9z  
     0hOps5c8=  
     M_f.e!?  
    场追迹仿真（电磁场探测器） v4X)R "jJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 p2(Z(V7*  
    oYrg;]H  
    /NFm6AA]  
     Kr@6m80E5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） uwWKsZ4:ij  
     ,^&amWey  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Hie  
    G Y+li {  
     {*K7P>&  
     
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