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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 )MF@'zRK  
    B os`+Y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 H Eq{TUTr  
    pXO09L/nv  
    U|tacO5w`  
     [;Lgbgt3f  
    建模任务 |~ fI=1;;x  
    j;@a~bks6z  
    ygIn6.p  
    概述 mu{C>w_Rz  
    \ opM}qZ  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 xw}yl4WT{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 SR?mSpq5  
    O[t?*m1/  
     EA>.SSs!  
    5H XF3  
    光线追迹仿真 =EFh*sp  
    VfpT5W<  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 s0;a j<J  
    •单击go！ !'^l}K>  
    •获得了3D光线追迹结果。 g]: [^p  
    M9R'ONYAa  
     wB0vpt5f  
    T^|k`  
    光线追迹仿真 eZ(ThA*2=t  
    ub~ t}  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 l$\2|D  
    •单击go！ PB$beQ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3{?X>6T  
    Z3{1`"\<K  
     9h\RXVk{tA  
    ;K\2/"$QD  
    场追迹仿真 4;Ucas6  
    Eej Lso#\  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 tW|0_m>{  
    •单击go！ B;(U ?gC  
    C_Q3^mLx  
    J^jd@E  
     mbkt7. ,P  
    场追迹仿真（相机探测器） @,.D]43  
    mA$y$73=T  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 *Igb3 xK%  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 wW*7  
    Ez|NQ:o  
     *w4#D:g  
    s,#We} bv  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ' 4i8&p`/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r'{N_|:vv  
    /A,w{09G  
    rIFW1`N}i  
     p2 1|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]>(pj9)  
     d~~, 5E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T}^3Re`i  
    i%.NP;Qq]M  
     N gF7$@S  
     
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