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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 z`'P>.x   
    1!s28C5u  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {Nq?#%vdT  
    8!j=vCv  
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    建模任务 !P"?  
    Ve14rn  
    +(AwSh!  
    概述 .!j#3J..u  
    h>tsis'N9  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 lS3 _Ild  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |+/$ g.  
    cMtJy"kK  
     \G=bj;&eF  
    @}G|R\2P  
    光线追迹仿真 n1)'cS5}  
    Y:%"K  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 kh&_#,  
    •单击go！ m~Me^yt>}  
    •获得了3D光线追迹结果。 .jum "va%  
    4JK@<GBK6  
     c'lIWuL)  
    vz,LF=s2  
    光线追迹仿真 x9\J1\  
    htg'tA^CtS  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 '5cZzC 2  
    •单击go！ g)N54WV  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 YUS?]~XC7x  
    2?H@$-x>  
     ZE ^u.>5  
    />!!ch  
    场追迹仿真 n% U9iwJ.  
    g$gVm:=  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iDR6?fP  
    •单击go！ _6J<YQK  
    |3|wdzV  
    \y,; Cfl<  
     bN4d:0Y  
    场追迹仿真（相机探测器） >2t cEz%  
    >VypE8H]x  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ev*c4^z:s  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ;HT0w_,  
    o[2Y;kP3*P  
     ],$6&Cm  
    x:vrK#8D>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） (S3jZ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4Z],+?.[  
    }P16Xb)p  
    qY# m*R  
     j@_nI~7f}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） zAu}hVcW  
     O<Jwaap  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Mf#2.TR  
    j5'.P~  
     2kC^7ZAwu  
     
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