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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 J^R))R=  
    &cV$8*2b^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 lbZ,?wm  
    FVW<F(g`  
    M`*B/Fh 2  
     @Kd1|K  
    建模任务 Ok/~E  
    m\(4y Gj  
    E ~<SEA  
    概述 D}XyT/8G3  
    :DXkAb2  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gbL99MZ@~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (C={/waJ  
    7L|w~l7R~  
     " ;_bB"q*  
    \K.i8f,  
    光线追迹仿真 8xJdK'  
    *91iFeKj=  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 M=HW2xn  
    •单击go！ 0}2Uj>!i  
    •获得了3D光线追迹结果。 _A|1_^[G(  
    yH#zyO4fD-  
     kSv?p1\@&P  
    TviC1 {2  
    光线追迹仿真 >*(4evU  
    $v#Q'?jE  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O&.^67\|  
    •单击go！ [X ]\^   
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 "#z4  
    PwU}<Hrl]  
     MNzq,/Wf  
    jz QmYcd  
    场追迹仿真 8W)3rD>  
    ;2q;RT`h  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 mq`N&ABO!K  
    •单击go！ "(PJh\S>S  
    K++pH~o  
    -|B?pR  
     g6o-/A!Q3  
    场追迹仿真（相机探测器） ^)<>5.%1''  
    Y$uXBTR`y/  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 mVfg+d(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 M,"4r^%k  
     *>j u1f  
     >gM|:FG  
    jv>l6)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） W-<E p<7{  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $%ZEP> ]  
    b)J(0,9`G"  
    S!A)kK+  
     z=<x.F  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1v!Xx+}  
     uy)iB'st&  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y K)7%j!  
    ]b4*`}\  
     dFD0l?0N  
     
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