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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 kRTT ~  
    BQ)zm  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 yg5Ik{  
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    建模任务 w6qx  
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    mG1=8{o^  
    概述 cIw)ScY  
    <FRYt-+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 bs kG!w  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k129)79  
    GW]Ygf1t  
     # yAt `  
    2Rc#{A  
    光线追迹仿真 ]pzf{8%  
    8)\ ?6C  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }{n[_:[7  
    •单击go！ `$AX!,<!G  
    •获得了3D光线追迹结果。 W+cmn)8  
    }~:`9PV)Z%  
     MIsjTKE  
    ^}a..@|%W  
    光线追迹仿真 (ye1t96  
    fx_7X15  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 kbN2dL  
    •单击go！ Ww{bh -nyq  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 x<>#G~-  
    VA&_dU]*  
     ,j:`yB]4,  
    \3"4;fM!i  
    场追迹仿真 LS}u6\(  
    k^w!|%a[  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 S4n\<+dR<  
    •单击go！ 0>6J -   
    `k+ci7;  
    4[44Eku\  
      Eh^c4x  
    场追迹仿真（相机探测器） [d`J2^z}  
    `WboM\u  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 bE74Ui  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]]Sz|6P  
    j2#RO>`,I  
     \uQ yp*P1s  
    p9 <XaJ}   
    场追迹仿真（电磁场探测器） Sb+^~M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J /mLmSx  
    *39Y1+=)$$  
    @SjISZw_  
     g`i?]6c}jt  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <U%4$83$  
     A(V,qw8  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 RP9#P&Qk  
    InBnU`(r  
     WWhAm{m  
     
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