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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 V`8\)FFG  
    Yd(<;JKF[  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -ykD/  
    \&l@rMD3s  
    ^zW=s$\Fo  
     #-o 'g!  
    建模任务 ~9PZ/( '  
    u@;e`-@  
    I_ AFHrj  
    概述 91-[[<  
    8Wo!NG:V5  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 dvM%" k  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K $WMrp  
    G^';9 UK  
     *I[tIO\  
    <'QI_mP*  
    光线追迹仿真 ROXa/  
    ]V)*WP#a  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^wD`sj<Qg  
    •单击go！ Omi/sKFMi  
    •获得了3D光线追迹结果。 0gG r/78   
    Ss0I{0  
     5,4m_fBoW  
    CvR-lKV<  
    光线追迹仿真 H@u5&  
    ,"F0#5  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~N2=44e  
    •单击go！ _u'y7-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 DN iH" 0%  
     <k0/O  
     3 /PvH E{R  
    zkiwFEHA=  
    场追迹仿真 Abi(1nXdQ  
    >_\[C?8  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "LSzF_mK  
    •单击go！ 1{wbC)  
    @qYT/V*/  
    M%Ksyr9  
     ,p#r; O<O  
    场追迹仿真（相机探测器） *H i}FI  
    !.-u'6e  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |fIyq}{7  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 c-v-U O%  
    rLE+t(x(0  
     GwfCl{l  
    MTN*{ug2:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） rL&Mq}7QK  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3m9b  
    ^}{x).  
    oam;hmw  
     >x3lA0m  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $PI9vyS  
     1D3 8T  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [q C0YM  
    U$<" . q  
     ^8A [ ^cgq  
     
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