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摘要 CmB_g ?K ^8 &}Nk[ j 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 y11^q *}
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Q 建模任务 "-f]d~P> 2E40&  nWsRa uY 概述 _\>y[e["p ~m=GS[= •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 NAo.79 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5.^pD9 [mT 8fqabR
 9i\}^ s2 .6gx|V+ 光线追迹仿真 F/2cQ .u2 <4TI;yy6? •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 XEiVs\) G •单击go！ uL)MbM] •获得了3D光线追迹结果。 [6TI_U ~ "c[> >t
 PSc=k0D )#AYb 光线追迹仿真 oVw4M2!"K 8
o}5QOW •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O
?T~>| •单击go！ }!^h2)'7 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 +(Y\w^@%H ( `4& h %g
 ?`TJ0("z" 1le9YL1_g 场追迹仿真 *wJ$U ]MYbx)v) •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vE9"1M •单击go！ q t OuA :fmV||Q  s>;"bzzq
Mzg3i* 场追迹仿真（相机探测器） m LajiZ Bf !&OdbRHM •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 W 4 q9pHQ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :G#%+, Q +f |.0r
 _LF'0s* 8GxT ! 场追迹仿真（电磁场探测器） %en J[a%Qg •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,;6%s>Cvd( xF UD 9TM
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