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摘要 SSPHhAeH8 .$qnZWcgG 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 t/cY=Wp
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=<{np 建模任务 <J`0mVOX
{zn!vJX  [3 (7 4 概述 d Vj_8> }q $5ig •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 AyNI$Q6Z •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4Uphfzv3 D )6q,>whI]
 !ePr5On qv]}$WU 光线追迹仿真 9;r)#3Q[^ ~R22?g. •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 v hp Npgz •单击go！ ; \]b T ;# •获得了3D光线追迹结果。 %>~sJ0 |C!ox hu<
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quN 光线追迹仿真 d/[;
`ZD+ (Tn- >).AO •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E%r k[wI •单击go！ M}yDXJx •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \P.I)n`8 y sE:M@`2L
 9QDFEYG BI3@|,._N 场追迹仿真 ;_rF;9z9 0`X]o'RxS •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [H 6hyG~ •单击go！ v6>_ j
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j@SQ~AS 场追迹仿真（相机探测器） +y&Tf#.V/A >8k _n •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Tk5W'p|6f •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 l)Crc-:}4j V:VO[e<e
 #vti+A~n,4 +VO-oFE | 场追迹仿真（电磁场探测器） ,.OERw •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :I+Gu*0WD I@yCTl uV$  Qa-K$dm%
XCU7x i $d 场追迹仿真（电磁场探测器） _$
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7Rd'm'l) (O.d >
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