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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 3>jL7sh%|  
    4d\"gk  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 OB-2xmZW  
    c_oI?D9  
    u2p5* gzZ  
     Lbo8> L(  
    建模任务 +}MV$X  
    .Fdqn?c|+  
    Qf?5"=:#  
    概述 ,<,ige  
    WGxe3(d  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 hX?rIx  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ML6V,-KU  
    BC/oh+FW3  
     u!iBAr5  
    8A|{jH74  
    光线追迹仿真 q;Y9_5S  
    %j '_I\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !>%U8A  
    •单击go！  p^=>N9  
    •获得了3D光线追迹结果。 .iDxq8l  
    %D::$,;<<  
     F4=+xd >0  
    K2= `.  
    光线追迹仿真 &3jq'@6  
    x2 s%qZ#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V !Cu%4  
    •单击go！ 37 #|X*L  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 mY}_9rTn|  
    )kMA_\$,  
     @@!Mt~\  
    ,34|_  
    场追迹仿真 *6Ojv- G|5  
    81O\BO.T  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 mPl2y3m%  
    •单击go！ f?-=&||f78  
    76Drhh(  
    5 IK -V)  
     \ 2cI=Qf  
    场追迹仿真（相机探测器） Jd].e=]pN  
    3ug|H  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^LA.Y)4C2%  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 qb rf;`  
    r6B\yH2  
     WK{{U$:$  
    /EJwO3MW  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _h@s)"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sd (I@ &y  
     QuJ~h}k  
    e ]@Ex  
     /F>\-    
    场追迹仿真（电磁场探测器） n?@3+wG  
     )gO=5_^u*o  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z*/*P4\  
    9u3~s <  
     c*O{?b  
     
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