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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 \4^zY'  
    <T;V9(66  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 g],]l'7H  
    'wtb"0 }  
    Pksr9"Ah  
     ~JNE]mg  
    建模任务 M$.bC0}T  
    ](v,2(}=  
    ju3@F8AI  
    概述 4`mf^K f  
    +H?g9v40  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Z,SV9 ~M  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !.^x^OK%y  
    j`q>YPp  
     2wnk~URj  
    #d3_7rI0V  
    光线追迹仿真 QH4m7M@ni  
    i7PS=]TK\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0Ze&GK'Hf  
    •单击go！ D "5|\  
    •获得了3D光线追迹结果。 04&S.#+(  
    9H;Os:"\|  
     s8[(   
    O`1!&XT{x  
    光线追迹仿真 kTfRm^  
    DBHHJD/q  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0^Vw^]w  
    •单击go！ 5+!yXkE^e  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !vRN'/(Vyu  
    7Hv 6>z#m  
     lK7:qo  
    jtpHDS  
    场追迹仿真 <9"@<[[,  
    @BjB Mi,  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _<jU! R  
    •单击go！ |v@_~HV  
    B Tj1C  
    ~PQR_?1  
     r>|S4O  
    场追迹仿真（相机探测器） OmZZTeGg1s  
    X]2Ib'(  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 UMBeY[ ?  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 x1`(Z|RJ  
    l l*g *zt3  
     M,p0wsj;  
    jg'"?KSU~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） B8T5?bl  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qGR1$\]  
    E&z^E2  
    /O$~)2^h  
     k~:(.)Nr  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 42hG }Gt  
     PWvTC`?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ws,?ImA  
    !BrZTo  
     +}( ]7du  
     
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