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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 0Mo?9??  
    &BZjQK  
    高数值孔径物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ^C|N  
    /=i+7^  
    {gkY:$xnrG  
    C25EIIdRb  
    建模任务 `0z8J*T]  
    rG t/ /6  
    D=^|6}  
    概述 4\pUA4  
    Ia%S=xU{=  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p* Q *}V  
    •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ETMF.-P  
    7lH.>n  
    [vNaX%o  
    IwZe2$f  
    光线追迹仿真 U(~d^9/#  
    .dQEr~f#}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5<RZ ht$i  
    •单击go! 5bHS|<  
    •获得了3D光线追迹结果。 0Q)m>oL.  
    1$toowb"Zy  
    IPa)+ ZQ  
    T[\?fSP  
    光线追迹仿真 {+N7o7  
    Js0hlWu  
    •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 %h^ f?.(:  
    •单击go! )Zbrg~-@  
    •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 s+@`Z*B5  
    JIh:IR(ta  
    4.&hV?Kxz  
    k%TjRf{p  
    场追迹仿真 {IG5qi?/E)  
    e:T8={LU2W  
    •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [R%Pf/[Fr  
    •单击go! ZmKxs^5S  
    ,5Nf9z!hk(  
    Y| 2Gj(*8  
    Pgo^$xn'6  
    场追迹仿真(相机探测器) tEl_a~s*3?  
    fZNWJo# `.  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <"HbX  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Uf`~0=w  
    ;cfmMt!QWJ  
    }Q#3\z5  
    qf?X:9Wt  
    场追迹仿真(电磁场探测器) 3?Tk[m1b  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 sF!nSr  
    i8+[-mh  
    cwC-)#R']  
    +-d)/h.7  
    场追迹仿真(电磁场探测器) *)82iD  
    Z+M* z;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tv\_& ({  
    D\9-MXc1  
    dHJ#xmE!pP  
     
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