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摘要 0Mo?9?? &BZjQK 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ^C|N /=i+7^
{gkY:$xnrG C25EIIdRb 建模任务 ` 0z8J*T] rGt/ /6 D=^|6} 概述 4\pUA4 Ia%S=xU{= •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 p*Q *}V •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ETMF.-P 7lH.>n
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光线追迹仿真 U(~d^9/# .dQEr~f #} •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5<RZht$i •单击go! 5bHS| < •获得了3D光线追迹结果。 0Q)m>oL. 1$toowb"Zy
IPa)+ ZQ T[\?fSP 光线追迹仿真 {+N7o7 Js0h lWu •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 %h^ f?.(: •单击go! )Zbrg~-@ •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 s+@`Z*B5 JIh:IR(ta
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