切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 557阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6090
    光币
    24603
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 nU%rSASu  
    4 W}8?&T  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 x, a[ p\1  
    9ET2uDZpL  
    \^SL Zhe  
     Y>Q9?>}Q  
    建模任务 Rj9ME,u  
    =UA-&x@  
    {'G@-+K  
    概述 `7}6  
    .z7X Ymv  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `ysPEwA|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 =K{$?%"  
    $ t_s7  
     K,%H*1YKK  
     (:].?o  
    光线追迹仿真 vG#|CO9  
    ]"q[hF*PM  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ~;#J&V@D  
    •单击go！ z~+_sTu  
    •获得了3D光线追迹结果。 UZMo(rG.]{  
    EaFd1  
     @^} % o-:  
    %k{~Fa  
    光线追迹仿真 g"( vl-Uw  
    _WtX8  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 DzO0V"+H}k  
    •单击go！ Xj"/6|X  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 enlk)_btp  
    V=k!&xN~  
     U2/H,D  
    -N^}1^gA  
    场追迹仿真 8qp!S1Qnv  
    (qlI QC  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~-lIOQ.v  
    •单击go！ ST)l0c+Y>  
    z|F>+6l"Y7  
     S20x  
     qqQnL[`)C  
    场追迹仿真（相机探测器） Fp+^`;j  
    v<_}Br2I[  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 UP 1Y3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &D[dDUdHs  
    a+szA};  
     !Zgb|e8<  
    ?cCh?> h  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?c"No|@+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Crh5^?  
    gWqmK/.U.0  
    26>e0hBh&  
     JM -Tp!C>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7!hL(k[  
     c)#b*k,lw<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M:6H%6eT  
    yfiRMN"2  
     +che Lc  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表