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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 L`Q9-#Y  
    <b;Oap3  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]r1 C  
    ,k3aeM~`%w  
    S{ !m})1?  
     Hz<)a(r!J  
    建模任务 H~"XlP  
    m4@w M?  
    q\5C-f  
    概述 x?Oc<CQ-2  
    c'6$`nC  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 6PI-"He  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 y0XI?Wr  
    #8jH_bi  
     ? &;d)TQ  
    h?:Y\DlU'  
    光线追迹仿真 0=J69Yd  
    ) N"gW*  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 TS<uBX  
    •单击go！ cB[.ET$  
    •获得了3D光线追迹结果。 dQL! >6a  
    {VE$i2nC8  
     }UWRH.;v  
    xR;-qSl7Ms  
    光线追迹仿真 _j2h3lCT  
    XUT\nN-N  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 U!x\oLP  
    •单击go！ $yb8..+  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @V-CG!  
    b511qc"i>M  
     dfq5P!'  
    ,Pd2ZfZ  
    场追迹仿真 Mhw\i&*U  
    [}_ar  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 h@D4~(r  
    •单击go！ ]H|1q uT  
    DEC,oX!bI1  
    5+O#5" v_  
     <!|2Ru  
    场追迹仿真（相机探测器） :+,qvu!M7  
    ),6Z1 K1  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 XfT6,h7vFL  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 X|wXTecg*|  
    6A/|XwfE/v  
     }J$PO*Q@'  
    |E]YP~h  
    场追迹仿真（电磁场探测器） <`9:hPp0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #z t+U^#)  
    tIC_/ 6  
    [P{Xg:0  
     \9/n~/{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Z y7@"C  
     J:mOg95<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ck.GN<#-^P  
    Ec6{?\  
     I/)dXk~  
     
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