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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 N-3w)23*:  
    + R])u5c'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -DX|[70  
    [rU8%  
    `zC_?+  
     8iK>bp  
    建模任务 Mh>^~;  
    :2 ?dl:l  
    `"I^nD^t>Y  
    概述 2aW&d=!ZV  
    Eo)Q> AM  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 U;;vNzcn  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M ,e_=aq  
    Wxb/|?,  
     ED[PP2[/  
    kxWf1hIz0  
    光线追迹仿真 76} N/C  
     s4;SA  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 z^{VqC*o+  
    •单击go！ 6T"[M  
    •获得了3D光线追迹结果。 AmRppbj/wO  
    >\^:xx Tf  
     z]=A3!H/Y  
    ^=pn!lK;^  
    光线追迹仿真 ~7 C` a$  
    GasIOPzK  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @4T+0&OI10  
    •单击go！ 4tCyd5u a8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 o { \cCZ"  
    ;,JCA# N  
     IBQmm(+v  
    o9<jj>R;  
    场追迹仿真 N02N w(pi  
    dW,$yH_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 t{Q9Kv  
    •单击go！ ;?yd;GOt)  
    My:wA;#  
    fE|([ ` !  
     Y=x]'3}^  
    场追迹仿真（相机探测器） n_v|fxF1  
    B<H5WI  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %S]5wR6;_  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 |mc!v*O  
    + 3aAL&  
     o\g",O4-  
    $0AN5 |`g\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )`,3/i9C$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y%cg  
    9H" u\t|?  
    Fj7cI +  
     SH<Nt[8C  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Hp8)-eT  
     BQ)zm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lmp0Ye|  
    Xi6XV3G  
     ,-vbR&  
     
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