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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-14
    摘要 {_Rr 6  
    p\ZNy\N^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 P8)=Kbd  
    ,.1Psz^U  
    Mz~D#6=  
     iBgx  
    建模任务 I\[_9  
    l +OFw)8od  
    2!J&+r  
    概述 hPePB=  
    4X |(5q?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 o-OHjFfB  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 wN-d'-z/rd  
    |NC*7/}  
     \EtQ5T*u  
    QKN+>X  
    光线追迹仿真 sCk?  
    T iiWp!mX  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5ZK@`jkE  
    •单击go！ AKyUfAj3  
    •获得了3D光线追迹结果。 (HE9V]  
    c>RFdc:U  
     Zk"eA'"\  
    =~H<Z LE+  
    光线追迹仿真 ?ztkE62t  
     &NK,VB;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (#RHB`h5  
    •单击go！ 8UyMVY  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 IrhA+)pdse  
    ,N[7/kT|  
     HxK80mJ  
    ~SF<,-Kg  
    场追迹仿真 1@R Db)<V  
    -w_QJ_z_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ime\f*Fg  
    •单击go！ z>Hgkp8D"  
    iIa'2+  
    \uC15s<  
     f@DYN!Z_m  
    场追迹仿真（相机探测器） 8b-Q F  
    F,dx2ZPIs?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 sy"^?th}b  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 G]i/nB  
    FUjl8b-|  
     87P>IO  
    f[a}aZ9)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） CcFn.omA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3? 7\ T#=  
    dEA6   
    LBsluT  
     OJ$]V,Z00x  
    场追迹仿真（电磁场探测器） V'T ,4  
     -Sx\Xi"<o=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %i-c0|,T4  
    3`.7<f`  
     S=nzw-(I  
     
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