[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 E<{R.r  
Z, zWuE3  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ^b4 9  
   e8>})  
-]N x,{  
Maha$n*  
2. 建模任务 oA7tEu   
[`#CXq'  
@
wGPqg  
  
LiC*@W  
3. 干涉条纹的变化 |IeTqEu9  
Avge eJi  
0#7>o^2  
BA@lk+aW  
4. 走进VirtualLab Fusion .wEd"A&j  
"(3[+W{|  
gDQ^)1k  
   B?eCe}*f;B  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 j2t7'bO_  
JK7G/]j+Ez  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

x77*c._3v  
>2y':fO  
6. VirtualLab Fusion 技术 ]g#:KAqz  
JinU
V6cr