1.
摘要 1|/'"9v !7c'<[+Hm 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
[TEcg^ W>:kq_gT nuxd S, ^jOCenE3 2. 建模任务
3Ta>Ki PI63RH8e 5qiI.) .+vd6Uc5a 3. 干涉条纹的变化
VF=Z` 6F-JK1i $+TYvA'N y;:]F|%< 4. 走进VirtualLab Fusion
C$K+=jT SUc6/'Rdr n$
dw<y fkG##! 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
8nsZ+,@+[ avBu a6i' xKb"p4k9d gY%&IHQ' 6. VirtualLab Fusion 技术
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