[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 Jzkq)]M  
g{IF_ 1  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 i;/xK
=L  
   ~y HU^5D  

图片:1-191204120226228.png

+Y"r71|A6+  
Fd]\txOXj  
2. 建模任务 Z@a9mFI?  
VhL{'w7f  

图片:1-19120412030c28.png

rxnFrx  
   Ub1hHA*)  
3. 干涉条纹的变化 :bu>],d-8'  
{\H/y c|@  

图片:1-191204120352336.png

sm,VYYs  
]\-^>!F#K  
4. 走进VirtualLab Fusion S$TmZk=  
Vj<:GRNQ,d  

图片:1-1912041204141I.png

>F1kR\!  
   (*}yjUYLZ  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 3E3U /K  
C%d_@*82  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

!oPq?lW9  
Hnknly  
6. VirtualLab Fusion 技术 q<y#pL=k"*  
-fhN"B)  

图片:1-19120412051Q53.png