1.
摘要 $5>m\wrl Qki?
>j" 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
=D)ADZ\<r Ei89Ngp\} ?h,.1Tb C{,Vk/D-0 2. 建模任务
Asj<u!L #{J+BWP\o 'a>D+A: IaO*{1re 3. 干涉条纹的变化
\xmDkWzE W?n/>DML Q<(aU{ ulfs Z: 4. 走进VirtualLab Fusion
@)@tIhw gwFW+*h bl\;*.s' :0Fc E,1 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
nIqF:6/ =FfR?6 ~ +P.JiH`\= $_gv(&ZT 6. VirtualLab Fusion 技术
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