1.
摘要 /YAJbr !]yO^Ob.E 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
M5357Q mHc>"^R >$WQxbwM( ypOLp SYk 2. 建模任务
q? qC v=@TWEE i%m"@7.kk :Qt 3. 干涉条纹的变化
D\dWt1n AlE8Xu9UB {76c%<`WaP "\C$ 4. 走进VirtualLab Fusion
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F f5AjJYq1 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
*a;@* JF&$t} H,fZ!8(A_) i<kD 6. VirtualLab Fusion 技术
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