1.
摘要 }`5%2iG zclt2? 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
@,M !&l TQE 3/I L dMeDQ`c`W j,6dGb 2. 建模任务
fU>"d>6!S Xa[gDdbL W>wE8? _, ;]Y.2 J 3. 干涉条纹的变化
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ReZ|q5* 4. 走进VirtualLab Fusion
#96E^%:zL fcnbPO0M 72~)bu w^G<]S{l 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
9y.C])(2 `U2Z(9le +s1+;VUs3 -$dnUXFsj[ 6. VirtualLab Fusion 技术
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