1.
摘要 @:Ns`+ W* V1ug.Jv^ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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ir T6O<. ;j$84o{ ?mV[TM{p ~Sh}\&3p 2. 建模任务
6c2fqAF>i t[<=QK 5+U~ZW0|+ IflpM ] 3. 干涉条纹的变化
HjK|9 rJAY7/u .N%$I6w sx22|j`)V 4. 走进VirtualLab Fusion
U9JqZ! ag3T[}L
z y"2c; *7[{ -/h$Yb 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
DU;]Q:r{ 2W}RXqV< pPIH`Iq 1Ao"DxZHy7 6. VirtualLab Fusion 技术
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