1.
摘要 n$nne6|O p)K9ZI 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
07~pf} kyp U&F /e;e\k_}' |`N$>9qN 2. 建模任务
Sn_z U`?zC~ 2<p5_4"-U* 4`?sE*P@` 3. 干涉条纹的变化
B:.;,@r] 3s88#_eT =U)n`#6_j2 h
v;n[ 4. 走进VirtualLab Fusion
Dwm@E\^ihm D}=/w+ buMiJzU 'iMHAP;N 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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i{%z BH.:_Qrbh[ )Tyky%P+iI 6. VirtualLab Fusion 技术
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