1.
摘要 GS),rNBur ];@"-H 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
Fqtgw8 dOm`p W ^ V?KACYd@O I_vPGafMx 2. 建模任务
~lB im$o w]n ,`r^ #is1y3yh (dSf>p r2 3. 干涉条纹的变化
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l# ^A9D;e6!- ^a9v5hu 4. 走进VirtualLab Fusion
'EsN{.l? %<^B\|d'? <sXmk{ 8J60+2Wa 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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6. VirtualLab Fusion 技术
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