[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 '7+4`E  
:/Q  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 S<4c r  
   +n#V[~~8AI  
/4g1zrU
  
5\e9@1Rc  
2. 建模任务 T;,cN7>>O  
(CsD*U`h  
8>0e*jC  
   b*`lk2oMa/  
3. 干涉条纹的变化 z"0I>gl  
1UE6 4Kl:S  
qNYN-f~@,  
1XD,uoxB  
4. 走进VirtualLab Fusion -F<Wd/Xse  
3wC' r  
hRs&t,{&  
   kP-3"ACG  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 G&4&-<  
8P1=[i]  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

P/Q!<I  
P*I}yPeb  
6. VirtualLab Fusion 技术 Cn "s
` q  
Zg'Q>.: