1.
摘要 >M<rr!| tQ< ou, 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
PPU,o8E+ ,@tYD(Z
n,hHh=.Fu [h""AJ~t 2. 建模任务
RWP`#(&/& ]sE~gro
;J Dn1(6 x$QOOE] 3. 干涉条纹的变化
? ;i O j+\I4oFN
(5]<t&M 9n]zh- 4. 走进VirtualLab Fusion
AH{]tE poGF
|Kky+* +v2Fr} 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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Li(}_ u7ZSs-LuHw 6. VirtualLab Fusion 技术
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