1.
摘要 IJc#)J.2A Gr@{p"./z 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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b<(UmRxx3 ePpK+E[0Z 2. 建模任务
{}o>nenx\ ')<FLCFwT
Hs}"A,V 6&QTVdK'O 3. 干涉条纹的变化
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WQLL[{mhS gZEA;N:H%< 4. 走进VirtualLab Fusion
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n UVCMB_T
X_({};mz <oaBh)=7 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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,ZNh1xt .-u k 6. VirtualLab Fusion 技术
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