1.
摘要 ^HYrJr$y hd@ >p. 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
3j]P\T n%M-L[n Q>,EYb>wI @.PVUP 2. 建模任务
-jv%BJJlX ?G48GxJ Xlw8>.\ zO)>(E? 3. 干涉条纹的变化
]
X9e| =sR]/XSK w;RG*rv kFJ sB,2- 4. 走进VirtualLab Fusion
b R6g^Yf mr`Lxy9e 3kl<~O|Fs w}OJ2^ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
*5\k1-$ V8aLPJ0_ MS Ml 8op,;Z7Y 6. VirtualLab Fusion 技术
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