1.
摘要 DKgwi'R ac"Pn?
q 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
a5ZU"6Hi 4wh_iO &M(=#pq9 &cztUM( 2. 建模任务
j@1cllJkh aKXaor@0f. t=syo-> Fj}|uiOQUS 3. 干涉条纹的变化
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.&t'W 4. 走进VirtualLab Fusion
qOYCQ ~L(=-B`Ow nlJ~Q_E( oVutHt 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
?;@xAj X{zg-k(@ }[XzM/t im{'PgiR 6. VirtualLab Fusion 技术
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