1.
摘要 #$\cRLPg , $;g'z!N 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
*7`N^e q\ihye X`,4pSQ; 9`[#4'1Mik 2. 建模任务
G'|Emu=4 WW.\5kBl8 [w iI q;I`&JK 3. 干涉条纹的变化
8 I'1~d%$ ZqI.n4:9 D+ki2UVt& Y~RZf /` 4. 走进VirtualLab Fusion
HSt|Ua.c/h .aRL'1xHl +{%@kX<V_ %}z/_QZ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
6r"PtHr ,+p&ZpH H>AzxhX[n >$.u|a 6. VirtualLab Fusion 技术
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