[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 E.N>,N  
J^DyhCs  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ? YIe<  
   pE+:tMH;  
Zs0;92WL  
#ax% n  
2. 建模任务 ;*nzb!u\\  
D>U(&n  
rK;<-RE<[:  
   yO
\bVu5V  
3. 干涉条纹的变化 ,G?Kb#  
c9nv=?/}f  
i
(e=
  
6r%i=z  
4. 走进VirtualLab Fusion r-WX("Vvh  
U"UsQYa_  
 RZqMpW  
   E)
p[^1WC  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 K'E)?NW69  
wwR}h I(  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

>x~Qa@s;  
/-^{$$eu  
6. VirtualLab Fusion 技术 f/.f08  
DtS7)/<T