1.
摘要 7.1E mJ Le$u$ulS 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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O 'frL/[S G<WDyoN=O _F$t#.o 2. 建模任务
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I8~k 3. 干涉条纹的变化
i(cb&;Xx:A >*Z{@1*h )k%drdY{J' !Pjg&19 4. 走进VirtualLab Fusion
Hn]n]wsLy kG7,1teMk Y`_X@Q :8!3*C-= 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
] GPz>k Ru\Lr=9 |>fS"u 3Os3=Ix 6. VirtualLab Fusion 技术
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