1.
摘要 ()aCE^C ]gBnzh. 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
~v8X>XDL?T sK#)k\w> #Vum UNDl&C2vz 2. 建模任务
dfFw6R {~9z uNi 8&EJ.CQ Hhtl~2t!0 3. 干涉条纹的变化
6xDk3 (u tP@d^ `}ak]Z_ =AO
( 4. 走进VirtualLab Fusion
_*H Hdd5I ChK-L6 TU6s~ LcGKYl(\K 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
cAN!5?D\ =DdPwr 0Op $IQPB_: [RXLR# 6. VirtualLab Fusion 技术
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