[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 VS`S@+p  
1{wy%|H\  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 RPrk]<<1  
   `XD$1>  

图片:1-191204120226228.png

Ii9vA ^53  
,"/_G  
2. 建模任务 -&&mkK B!  
cr!I"kTgD  

图片:1-19120412030c28.png

e0qa~5  
   PQ5DTk  
3. 干涉条纹的变化 )KNFS,5  
D H/1
:H  

图片:1-191204120352336.png

.B)v "Sw#  
o%dtf5}(,  
4. 走进VirtualLab Fusion Pg:Nz@CQ  
q q`UvU  

图片:1-1912041204141I.png

NZ_45/(dx  
   Y8d%L;b[D  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Q=dR[t>^  
Vf:t!'WD?2  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

!=-l760  
ZpZ~[BtQ  
6. VirtualLab Fusion 技术 X:dj5v  
iD\joh-C  

图片:1-19120412051Q53.png