[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 RrH{Y0  
7JuHa /Mv  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 AB0}6g^O  
   [-"ZuUG  

图片:1-191204120226228.png

vfj{j= G  
8"NPj0  
2. 建模任务 k^ fW/  
-qvMMit%7  

图片:1-19120412030c28.png

IY[qWs  
   v8'XchJ  
3. 干涉条纹的变化 hyJ&~i0P{J  

(RrC<5"  

图片:1-191204120352336.png

K0o${%'@7  
m+7%]$  
4. 走进VirtualLab Fusion )+Z.J]$O-  
@c"s6h&  

图片:1-1912041204141I.png

ME!P{ _/  
   FYu30  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 DnhbMxh8o  
x[)]u8^A  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

[e_csQ  
]Lg~I#/#  
6. VirtualLab Fusion 技术 ps8tr:T^=  
^.g-}r8,  

图片:1-19120412051Q53.png