1.
摘要 %+F%C=GqI FcaO- 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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cN| y2=`NG= piPx8jT`F ,%!E-gr 2. 建模任务
Pr_$%x9D UU;U,q `COnb@uD :rcohzfa 3. 干涉条纹的变化
L?:fyNA3[ =j&qat gfU@`A_N" 5+yT{,(5 4. 走进VirtualLab Fusion
^W)h=49PN %'`L+y 3~5%6` = 3("gScUj 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
tY>_+)oi M tD{/.D> ;"T,3JQPn6 2"IsNbWV 6. VirtualLab Fusion 技术
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