[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 gPs%v`y)*D  
LWQ.!;HYp  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 v0762w  
   tW4|\-E"s4  
"LyMw){  
^V]DQ%v"I  
2. 建模任务 J ik+t\A  
<T?H H$es)  
2
%Bq[SMuN  
   R[Y]B$XO  
3. 干涉条纹的变化 tHlKo0S$0  
bvY'=   
: tKa1vL  
sHC4iMIw  
4. 走进VirtualLab Fusion \*{tAF  
6E~T$^Q}  
;Ml??B]C  
   ,MkldCV  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ATq)8Rm\  
L'XX++2  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

M>H4bU(  
Sn 3@+9J  
6. VirtualLab Fusion 技术 .I%p0ds1r  
}1<_