1.
摘要 #.)xm(Ys
8>Du 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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b3I%r 2. 建模任务
Ii~; d3. zP:~O ka2F! _8[UtZYG 3. 干涉条纹的变化
N<aB)</ G-\<5]k] OgEUq'' /&D'V_Q`* 4. 走进VirtualLab Fusion
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[)hk&(R uX[O,l^} #0P!xZ'|{ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
GFdZ`i YO@hE> jOBY&W0r <\, &:< 6. VirtualLab Fusion 技术
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