1.
摘要 /R7qR# a<9cj@h 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
|d\rCq > bI/d(Q%#< %y;E1pva HQlhT 2. 建模任务
lL_M=td8W Cg[]y1Ne >tTNvb5 0O+[z9 3. 干涉条纹的变化
p_T>"v 22lC^)`TE mVFz[xI $K1 /^ 4. 走进VirtualLab Fusion
`\LhEnIwu ~RGZY/4 k9H7(nS{ c#X9d8> 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Bwv@D4bii ma@3BiM foY=?mbL aVsA5t\zi 6. VirtualLab Fusion 技术
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