1.
摘要 [kU[}FT #,Fx@3y\a 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
x<)!$cg +4p2KYO ?Mgt5by F~11 _ 2. 建模任务
i&AXPq>` Rqv+N] j$JV(fz Bk@_]a 3. 干涉条纹的变化
}b\ipA,~ 1bFEx_ 3 8ls 4v3 Rwi5+;N 4. 走进VirtualLab Fusion
n^I|}u\ b W`)CWd =#PudF.\ 0(.R?1*:Rf 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
[jmAMF<F {BwN4r46 ).@)t:uNa +LU ). 6. VirtualLab Fusion 技术
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