1.
摘要 QZ(O2!Mg ?s>_^xfD 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
Mu:zWLM*M a!6r&<s=E m;"[b (u rtJ@D2Hj^ 2. 建模任务
xe6V7Wi/Tt *`qI<]! *;Q#UH D@sMCR 3. 干涉条纹的变化
x&u@!# d] /|NyO+Io Z%ZOAu&p 4e\w C 4. 走进VirtualLab Fusion
Ow1+zltgj- @G#`uoD `0W"[BY xS/=9l/G 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
2=fLb7 "Ltp]nCR cEp/qzAiD% ;W+1 H ! 6. VirtualLab Fusion 技术
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