1.
摘要 <a fO 6?` m'c#uU 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
yduuFK moe/cO5a9 03C .Xh=! X= SG 2. 建模任务
2zM-Ob<U` 5Vm Eyb T"IW Jpc 8a?IC|~Pz 3. 干涉条纹的变化
vLr&ay!w DgVyy&7> /K[]B]1NE ss*5.(y 4. 走进VirtualLab Fusion
Y1|^>C#a vWuyft* !%X>rGkc ~PCTLP~zI 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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z.fAw 6. VirtualLab Fusion 技术
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