1.
摘要 fC/P W`4Ae CKX3t:HP0 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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_ SVPksr j{@li1W@ a..LbQQ 2. 建模任务
"ZuA._ D4*_/,} O7p=|F" Ct$\!|aR 3. 干涉条纹的变化
L;=LAQ6[ 0CI\Yd= TRr%]qd{Hr DH uUEv< 4. 走进VirtualLab Fusion
rj/nn)vv; A2.4#Qb' vnqLcNB H 'fZ\uMdTx 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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)q JO~62='J 6. VirtualLab Fusion 技术
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