1.
摘要 gPE`mE jT'09r3P 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
!+Fr U'^ r5,V-5b qkbGM-H%U REg&[e+% 2. 建模任务
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N8 3. 干涉条纹的变化
WEaG/)y w!%"b03q H*H~~yQ 79*f <Gr 4. 走进VirtualLab Fusion
""@kBY1C MvKr~ sRI0; >d3`\(v- 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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6. VirtualLab Fusion 技术
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