1.
摘要 d@tr]v5 B obq}# 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
F21[r!3 m-RY{DO+ zIFL?8!H9{ P{eRDQ= 2. 建模任务
\T9UbkR z-5#bOABW 17)M.(qmuP dA/o4co 3. 干涉条纹的变化
"S`wwl g{hA,-3 o$VH,2 QF 5R `6zhf 4. 走进VirtualLab Fusion
B5HdC%8/} ~q(C j"7 j#P4Le[t JK"uj% 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
NB5B$q_'# ]wpYxos ',`4 U F I%>]!X 6. VirtualLab Fusion 技术
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