1.
摘要 lB-Njr L9x,G! 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
MFC= oKD CSs3l %hXa5}JL Cnn,$R=/s 2. 建模任务
D,NjDIG8 5vS'Qhc qWWy}5SOm 'HOt?lpu! 3. 干涉条纹的变化
ztu N0}' +ux,cx.U" il:+O08_ *{XbC\j 4. 走进VirtualLab Fusion
poM VB{U U7{,
* RlpW)\{j? %cBJ haR{( 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
^fRA$t r1,RloyZS GLEGyT?~ ~x824xW 6. VirtualLab Fusion 技术
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