1.
摘要 f:Ja O``MUb b 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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vp|=q;Q%r .5ycO 2. 建模任务
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k:qou})#4 g|HrhUT; 3. 干涉条纹的变化
w+Z};C UKBMGzu2:
c\'pA^m6 &zd7t6 4. 走进VirtualLab Fusion
BT1'@qF ? 7EVmF
Q(IS= (KMobIP^ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
Om"3Q/& V<pqc&f.
<`*P/V q{ 1U 6. VirtualLab Fusion 技术
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