1.
摘要 , XR8qi~ PJ.jgN(r 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
d!X?R} r 1a{Y8? yTvK)4& .R"L$V$RU. 2. 建模任务
$.cGRz 3gh^a;uC ^KF'/9S {p\KB!Y- 3. 干涉条纹的变化
t8+93,*B UmuFzw^ ,5?MRqCM '[E_7$d 4. 走进VirtualLab Fusion
syfR5wc ~S6N'$^ PWU#`>4 H}~^,B2; 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
8UcT?Zp s#fmGe"8 {XC rjO| ]]ZBG<# 6. VirtualLab Fusion 技术
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