1.
摘要 :U[_V4?7 s*#|EdD6@ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
5BCaE)J J2[QHr&tn +[}]a3) .y2<2eW 2. 建模任务
>qUO_> '}YXpB (1}Ndo^;w YL=k&QG 3. 干涉条纹的变化
/tv;W hA\8&pI; $xZk{ rK 1k%ko? 4. 走进VirtualLab Fusion
=nL*/ {4m"S7O 1W!n"3# B# H 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
O}D8 CC-:dNb 7Y*m_AhxJ |8`;55G 6. VirtualLab Fusion 技术
B+DRe 8 Qy/bzO