1.
摘要 +_gPZFpbx r'/7kF- 5 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
Oo<^~d2= d ,| W j+:q:6 = %+iJpRK)7 2. 建模任务
}d2]QD#O uhUC m CUB= T] UNcS\t2N 3. 干涉条纹的变化
^'=J'Q J7BfH,o Zqke8q s@C@q(i6 4. 走进VirtualLab Fusion
Pew-6u" Exox&T ~Rx[~a d#.9!m~. 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
|q5R5mQ h_4o4# S(jbPQT '{j.5~4y 6. VirtualLab Fusion 技术
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