1.
摘要 v?<x"XKR Y[T;j p(k 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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p vD) LRO
Z yQhrPw> m 2. 建模任务
;ijJ%/ "JVzv U] ;0xCrE{l" &tD`~ 3. 干涉条纹的变化
*@G4i `+B+RQl}[ qPE(Lt1 @D"#B@j 4. 走进VirtualLab Fusion
1elcP`N1 ; Z61|@Y \9se~tAl3 Lj(hk@ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
:c)<B@NqNo 8t}=?:B+{ <4{@g]0RV 2t[c^J 6. VirtualLab Fusion 技术
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