1.
摘要 EpKZ.lCU <bo^u w 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
8_w6% md l)o!&]2 AZE%fOG<i maHz3: 2. 建模任务
B~k{f} Mpyza%zj gK;dfrU.8Y r7>FH!=: 3. 干涉条纹的变化
7Ok-T10 ULu@" 74:( -vS uL-kihV:- 4. 走进VirtualLab Fusion
rir,|y, v;5-1 t#_6GL EtPB_!
+ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
=liyd74%` V`LE 'E h*D -Vo sk<S`J,M/_ 6. VirtualLab Fusion 技术
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