1.
摘要 *<i
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Mb Q {}s7q|$ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
2Vr F~+ ;xN4L KWLI7fTgj$ lN<vu# 2. 建模任务
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_3`A 3. 干涉条纹的变化
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JX. ,@;", ,?3r-bM 4. 走进VirtualLab Fusion
] L"jt8E d!D#:l3; *_}ft-*w ;*BG{rkr 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
f1rP+l-C< 0B>hVaj>- -v/1R1$e1 c/jU+,_g 6. VirtualLab Fusion 技术
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