1.
摘要 2(|V1]6D? 7)#/I
白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
>6j`ZWab> -Zh+5;8g q\<vCKI-^ @P>@;S 2. 建模任务
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{ 8*ysuL# 7Ll(,i<,C 3. 干涉条纹的变化
# L R[6l 2}AV_]] f#jAjzmYL gg9W7%t/ 4. 走进VirtualLab Fusion
vPi+8) '7^_$M3$\ A(B2XBS!? :H{8j}" 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
~jaGf I{$|Ed1 [+GG Wo KqQrxi?f- 6. VirtualLab Fusion 技术
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