1.
摘要 !\1)?&y9j S g1[p#U 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
XK/l1E3N w8Z#]kRv
\yw5`5g <2 [vR|Q* 2. 建模任务
#\Y`? JHm Pa
hLZfArq} ^1Fzs(#. 3. 干涉条纹的变化
BRY/[QRqZ w{[^
2%R.~9HtA d-Z2-89K 4. 走进VirtualLab Fusion
%au>D b,+KXx
T|BlFJ0" ?32~%?m 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
N]iarYc |?^qsnB
EU:N9oT 'bM= 6. VirtualLab Fusion 技术
e4Ibj/ 52o^]