1.
摘要 fU}ub2_in 9;u@q%;!k 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
RSRS wkC @b%=H/5\
4k1xy## |syR6(U} 2. 建模任务
AV]2euyn U< fGGCw
ec;o\erPG Mfuv0P~ 3. 干涉条纹的变化
pah'>dAL {}n^cq
Dml;#'IF3 u
c)eil 4. 走进VirtualLab Fusion
EME|k{W _N cR)2
Ll't>) =y*IfG9b 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
jB2[( $%d*@'c
*?vCC+c O0v}43J[ 6. VirtualLab Fusion 技术
.~;\eW [ 9.-S(ZO