[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 s3~6[T?8  
f&XM|Bg  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 W#^p%?8pR  
   !V/p.O  

图片:1-191204120226228.png

[U7r>&  
vY,]f^F"  
2. 建模任务 {[+Q\<  
|D8c=c%  

图片:1-19120412030c28.png

6|1#Prj  
   ^{g+HFTA@  
3. 干涉条纹的变化 i^/H>E%u  
24Htr/lPCT  

图片:1-191204120352336.png

=gSACDTc  
A^F0}MYT  
4. 走进VirtualLab Fusion p+{*w7?8"[  
k59.O~0V  

图片:1-1912041204141I.png

[+:KIW<  
   eBW]hwhKzM  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 BFn}~\wzK  
utw@5  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

opCQ=G1  
!i=k=l=  
6. VirtualLab Fusion 技术 ||4++84{  
Zr;(a;QKs  

图片:1-19120412051Q53.png