摘要
:Fh _Ya0 b `cH.v 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
OKj\>3 _? bF;R 8)b*q\ O' z_y@4B6>} 建模任务
q'Y )Y(d ZKB27D_vg> nA=E| $1 仿真干涉条纹
bZ+H u~ jq|fI P uw`J5TND 走进VirtualLab Fusion
%Rm`YH? :&RpB^] wqX!7rD/g) Oe k$f,J- VirtualLab Fusion中的工作流程
)Q |sW+AF SuBUhzR •设置输入场
nQfSQMg −基本光源
模型[教程视频]
Xcg+ SOB •使用导入的数据自定义表面轮廓
|4` ;G(t a •定义元件的位置和方向
A2`X h#o − LPD II：位置和方向[教程视频]
|~Vq"6` •正确设置通道以进行非
序列追迹
_sCzee&uQ −非序列追迹的通道设置[用例]
_M- PF$ •使用
参数运行检查影响/变化
}\W^$e- −参数运行文档的使用[用例]
o'YK\L!p Dd)L~`k{) edlsS}8^ ZM 57 (D VirtualLab Fusion技术
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