[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 bBGg4{  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 |W&K@g$  
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建模任务 h53G$Ol
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仿真干涉条纹 ?g0dr?H  
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走进VirtualLab Fusion st#^pWL  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 q 1u_r  
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•设置输入场 w[)HQ1K  
−基本光源模型[教程视频] u~mpZ"9$ 3  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 {?X +Yw  
•定义元件的位置和方向 `/WOP`'zM  
− LPD II：位置和方向[教程视频] {e0aH `me  
•正确设置通道以进行非序列追迹 pF}E`U=Z  
−非序列追迹的通道设置[用例] Vn_>c#B  
•使用参数运行检查影响/变化 H;Gs0Qi;  
−参数运行文档的使用[用例] $d&7q5[  
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VirtualLab Fusion技术 V=Bmpg  
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