摘要
:V$\y up RH,x);J| 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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:CM_ KrP?*yk 建模任务
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G?Wr %,$xmoj9O] 仿真干涉条纹
V+D <626o o(}%b8 K T5`ML'Dej 走进VirtualLab Fusion
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jEX F<h+d917 |FFz $'8) ZxOo&YR3 VirtualLab Fusion中的工作流程
"+2Cs ;t>4VA •设置输入场
9PV]bt, −基本光源
模型[教程视频]
&g}P)xr •使用导入的数据自定义表面轮廓
^$dbyj` •定义元件的位置和方向
+hKU]DP2; − LPD II:位置和方向[教程视频]
NxA4*_|H9 •正确设置通道以进行非
序列追迹
*Mg@j;+5s −非序列追迹的通道设置[用例]
S~r75] " •使用
参数运行检查影响/变化
.dYv.[?hL −参数运行文档的使用[用例]
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