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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-05-13
    摘要 KKGAk\X  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 +'uF3- +WY  
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    仿真干涉条纹 NZ{kjAd3c  
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    走进VirtualLab Fusion ef f6=DP  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 `q7I;w+g  
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    •设置输入场 nLto=tNUO  
    −基本光源模型[教程视频] <g>_#fz"K  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 -T4?5T_  
    •定义元件的位置和方向 a=p3oh?%-O  
    − LPD II:位置和方向[教程视频] (G#)[0<fX  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 IJS9%m#  
    −非序列追迹的通道设置[用例] 4)JrOe&k  
    •使用参数运行检查影响/变化 X]C-y,r[M  
    −参数运行文档的使用[用例] .}SW`R Pk  
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    VirtualLab Fusion技术 [g=yuVXNZZ  
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