摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
J; Xz'0 I%*Z j,> kV%y%l(6 a#Gq J?nY 建模任务
s"F,=]HQ!G &|FG#.2yw `CouP -g. 仿真干涉条纹
8-6{MJ?F h4xdE 0 sh3}0u+ 走进VirtualLab Fusion
}33Au-%* a #**96Av -;.fU44O[# 0vNM#@ VirtualLab Fusion中的工作流程
t$D[, $G9 @].aFhH`) •设置输入场
o |.me G −基本光源
模型[教程视频]
]V\ g$@ •使用导入的数据自定义表面轮廓
EqwA8? M •定义元件的位置和方向
mM~Q!`Nf. − LPD II：位置和方向[教程视频]
IN*Z__l8j` •正确设置通道以进行非
序列追迹
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ec"{ −非序列追迹的通道设置[用例]
Ek\Zi#f< •使用
参数运行检查影响/变化
Jq @ LZ2^ −参数运行文档的使用[用例]
tXGcw oOB aq**w?l fP*C*4#X O4 URr VirtualLab Fusion技术
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