摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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7Jc=`Zm' /I6?t=?< 建模任务
06Uxd\E~ 3)dT+lZ c1:op@t 仿真干涉条纹
Y|B/( @uH7GW}$g _f34p:B%s 走进VirtualLab Fusion
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Yq5}r?N /9GqEQsfM VirtualLab Fusion中的工作流程
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zsv "?avb`YU' •设置输入场
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1W −基本光源
模型[教程视频]
) mv}u~ •使用导入的数据自定义表面轮廓
p1Lx\ •定义元件的位置和方向
QAb[M\G − LPD II:位置和方向[教程视频]
_BW$?:)9 •正确设置通道以进行非
序列追迹
Gl1`Nx0 −非序列追迹的通道设置[用例]
&+sO"j4<?r •使用
参数运行检查影响/变化
Pv/P<i^ −参数运行文档的使用[用例]
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#c!(97l6o BY\p?79 VirtualLab Fusion技术
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