摘要
+$b_,s -b7q)%V 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
FuKp`T-H uzA_Zjx J!5>8I(_wX 7a4b,-93 建模任务
t5qNfiKC C]xKdPQj% Pz/bne;= 仿真干涉条纹
}!W,/=z* `h:$3a:5 ~ e4Pj`?=K 走进VirtualLab Fusion
Buue][[ &f:"p*=a\ C_RxJWka ^F*G VirtualLab Fusion中的工作流程
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•设置输入场
BfcpB)N&.K −基本光源
模型[教程视频]
I`~ofq?r •使用导入的数据自定义表面轮廓
9qHbV
9,M •定义元件的位置和方向
Do3g^RD# − LPD II:位置和方向[教程视频]
{5$.:Y •正确设置通道以进行非
序列追迹
]4$t'wI. −非序列追迹的通道设置[用例]
C`uZr k/ •使用
参数运行检查影响/变化
{NS6y \, −参数运行文档的使用[用例]
RwG@C|sG AaVj^iy/X L*rND15 ;Tn$c70 VirtualLab Fusion技术
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