摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
jf)cDj2 ! $JX3mP #Us<#"fC ?s, oH 建模任务
&$s:h5HoX nmpc<&<< .=:f]fs 仿真干涉条纹
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4Pv\YO 走进VirtualLab Fusion
"rMfe>;FJ `,4yGgD!4 x<I[?GT= JWHsTnB VirtualLab Fusion中的工作流程
+pYgh8w@ C]b:#S ${ •设置输入场
18X?CoM~ −基本光源
模型[教程视频]
A.*e8a/6X •使用导入的数据自定义表面轮廓
T.cTL.} •定义元件的位置和方向
hTa X@=Ra − LPD II:位置和方向[教程视频]
pj_W^,*/ •正确设置通道以进行非
序列追迹
vyS>3(NZ −非序列追迹的通道设置[用例]
#~p;s> •使用
参数运行检查影响/变化
r(Sh −参数运行文档的使用[用例]
}"+"nf5h xY?p(>( UXji$|ET6 6"iNh) VirtualLab Fusion技术
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