摘要
KKGAk\X q jDWA' 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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PLFM[t/
asQ pVP Iy8gQdI 建模任务
y<BiR@%,7 m?;)C~[ c*~/[:} 仿真干涉条纹
NZ{kjAd3c {'"A hiR/ lH:TE=|4 走进VirtualLab Fusion
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^w8H=UkP!+ :Q+rEjw+ VirtualLab Fusion中的工作流程
`q7I;w+g F mh;d*IT •设置输入场
nLto=tNUO −基本光源
模型[教程视频]
<g>_#fz"K •使用导入的数据自定义表面轮廓
-T4?5T_ •定义元件的位置和方向
a=p3oh?%-O − LPD II:位置和方向[教程视频]
(G#)[0<fX •正确设置通道以进行非
序列追迹
IJS9%m# −非序列追迹的通道设置[用例]
4)JrOe&k •使用
参数运行检查影响/变化
X]C-y,r[M −参数运行文档的使用[用例]
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