[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 NJ3b Oq  
pZXva9bE  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Zd042 %  
F$d`Umqs;P  
}E*#VA0/nY  
gQ&FO~cr  
建模任务 0n
BAO  
&ceZu=*  
k kY*OA  
仿真干涉条纹 -
V(5U!^B  
U)N;=gr\  
|XPT2eQ{  
走进VirtualLab Fusion k{uc%6s  
kZfO`BVL  
$6R<)]6  
+[:}<^p?cG  
VirtualLab Fusion中的工作流程 /,wG$b+  
xCGvLvFn  
•设置输入场 evq*&.6\  
−基本光源模型[教程视频] p^NYJV  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 7|*|xLrVY  
•定义元件的位置和方向 +tl&Jjd
m  
− LPD II：位置和方向[教程视频] &vo]l~.  
•正确设置通道以进行非序列追迹 8 "|')f#  
−非序列追迹的通道设置[用例] K@6$|.bc  
•使用参数运行检查影响/变化 I
X$ $pdQ  
−参数运行文档的使用[用例] )/UPDdO  
ob-y {x,R  
nx84l7<  
`G,\=c~{A  
VirtualLab Fusion技术 7\<#z|  
[ q22?kT