[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 3EFD%9n  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 1V&PtI3!!  
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建模任务 F:F
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仿真干涉条纹 6o3T;h  
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走进VirtualLab Fusion n"{X!(RIcx  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 0Vv9BL{  
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•设置输入场 N$aZ== $5  
−基本光源模型[教程视频] :{g7lTM  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 uZjI?Z.A  
•定义元件的位置和方向 r((Tavn  
− LPD II：位置和方向[教程视频] 0A$SYF$O+[  
•正确设置通道以进行非序列追迹 B+VuUt{S  
−非序列追迹的通道设置[用例] z MdC  
•使用参数运行检查影响/变化 60B-ay0e$b  
−参数运行文档的使用[用例] mMw;0/n  
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VirtualLab Fusion技术 QX0Y>&$)  
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