[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要  Hu^1[#  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 6|
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建模任务 %G3h?3  
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仿真干涉条纹 kj|6iG  
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走进VirtualLab Fusion }wWKFX  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Rh3eLt~|(  
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•设置输入场 f& 0M*o,)  
−基本光源模型[教程视频] .0p0_f=  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 o=
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•定义元件的位置和方向 >lmi@UN|k  
− LPD II：位置和方向[教程视频] O ~(pg  
•正确设置通道以进行非序列追迹 ~{?_p@&n  
−非序列追迹的通道设置[用例] yID16
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•使用参数运行检查影响/变化 D_?K"E=fw  
−参数运行文档的使用[用例] pny11C  
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VirtualLab Fusion技术 g(nPQOs$u  
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