摘要
OG~gFZr)6 Oamg]ST 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
gk4;>} f^ZRT@`O wSL}`C gU C.:<-xo 建模任务
t^-d/yKt0w Ufj`euY hF?1y `20 仿真干涉条纹
w_c"@CjkE 'c&Ed lgAoJ[ 走进VirtualLab Fusion
~Gp[_ %K RU{twL.B $p8xEcQdU# ;a!S!%.h VirtualLab Fusion中的工作流程
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,'_xV G5_=H,Vmd •设置输入场
@s>Czm5 −基本光源
模型[教程视频]
Xq4O@V •使用导入的数据自定义表面轮廓
ldcqe$7, •定义元件的位置和方向
G>_*djUf − LPD II:位置和方向[教程视频]
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D0n •正确设置通道以进行非
序列追迹
ITQA0PISL −非序列追迹的通道设置[用例]
eIF5ZPSZi •使用
参数运行检查影响/变化
f)rq%N & −参数运行文档的使用[用例]
Ib!R D/ B
IEO,W| 4B;=kL_f &E F!OBR VirtualLab Fusion技术
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