[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 Iy-u`S  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 {=UKTk/t8  
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建模任务 \"{/yjO|4  
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仿真干涉条纹 I*%&)Hj~  
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走进VirtualLab Fusion `7+tPbjs  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 "Vs Nyy  
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•设置输入场 GIJV;7~  
−基本光源模型[教程视频] %@)U/G6s}  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 p=je"{  
•定义元件的位置和方向 (2&K(1.Y  
− LPD II：位置和方向[教程视频] JT}dor  
•正确设置通道以进行非序列追迹 im_0ur&'  
−非序列追迹的通道设置[用例] \["1N-q b  
•使用参数运行检查影响/变化 B]CS2LEqh  
−参数运行文档的使用[用例] %DHP
 
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VirtualLab Fusion技术 E$oA+n~  
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