摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
="XxS|Mq3 X}S<MA` =NlAGzv!w iXXgPapz 建模任务
gIT"nG=a4 %40|7O eP;lH~!.0 仿真干涉条纹
7<X_\,I jgukW7H r_Xk: 走进VirtualLab Fusion
Plt~l3_ sdrE4-zd ?_ p3^kl ]V}";cm;2 VirtualLab Fusion中的工作流程
Nhuw8Xv zi<C5E` •设置输入场
ga!t:O@w −基本光源
模型[教程视频]
k}JjSt1_A; •使用导入的数据自定义表面轮廓
Vbz$dpT •定义元件的位置和方向
5J1,Usm − LPD II:位置和方向[教程视频]
esFBWJ •正确设置通道以进行非
序列追迹
%m{h1UQQ+ −非序列追迹的通道设置[用例]
gX]?`u •使用
参数运行检查影响/变化
X(N!y"z −参数运行文档的使用[用例]
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rfoLg VirtualLab Fusion技术
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