摘要
1- Jd Qs6 v o<'7, 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
U?]}K S;6 1X. E: hq+j8w}<- Vcjmj 建模任务
Ns
ezUk8' YytO*^e}} XLQt>y) 仿真干涉条纹
CNU,\>J@$ IP<]a5 p8gm= 走进VirtualLab Fusion
pe%$(%@v nSR7$yS_ 1j4tR #L fib#)KE VirtualLab Fusion中的工作流程
p SMF1Oy *DBm"{q%&k •设置输入场
TQ hu$z< −基本光源
模型[教程视频]
)w/ #T •使用导入的数据自定义表面轮廓
9W5 ~ I9% •定义元件的位置和方向
': fq/k3;& − LPD II：位置和方向[教程视频]
u_31Db< •正确设置通道以进行非
序列追迹
9feVy\u
−非序列追迹的通道设置[用例]
Z H<: g6 •使用
参数运行检查影响/变化
e 97Ll=> −参数运行文档的使用[用例]
Ov<EOK+^ {"e)Jj_= % )o'9 yzI`&?
P2 VirtualLab Fusion技术
^qR2 !fwm< L<dJWxf?D
