摘要
P : L6Zo-J ?"T!<L 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
t :P7 ah E{QjmlXQ< OoR g:"9{# !)CY\c4}d> 建模任务
kGC*\?<LmR `:R9M+
OX +uj;00 D 仿真干涉条纹
3 ]@wa!` Vq/hk 0v6Z 4Ahpo 走进VirtualLab Fusion
;CoD5F! \TnK<83 S6C D K: "pcr-?L VirtualLab Fusion中的工作流程
b$pCp`/MT !6sR|c"~ j •设置输入场
[3ggJcUgW> −基本光源
模型[教程视频]
I>w|80%% •使用导入的数据自定义表面轮廓
9eE
FX7 •定义元件的位置和方向
a;kiAJ' − LPD II：位置和方向[教程视频]
x9 t % •正确设置通道以进行非
序列追迹
, `'A"]" −非序列追迹的通道设置[用例]
Eh|6{LDn! •使用
参数运行检查影响/变化
W>c*\)Xk ! −参数运行文档的使用[用例]
EM1HwapD MSp) Jc %s5( ''a. y5D3zqCG VirtualLab Fusion技术
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