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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-05-13
    摘要 OG~gFZr)6  
    Oamg]ST  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 gk4;>}  
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    建模任务 t^-d/yKt0w  
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    仿真干涉条纹 w_c"@CjkE  
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    走进VirtualLab Fusion ~G p [_ %K  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 e ,'_xV  
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    •设置输入场 @s>Czm5  
    −基本光源模型[教程视频] Xq4O@V  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ldcqe$7,  
    •定义元件的位置和方向 G>_*djUf  
    − LPD II:位置和方向[教程视频] urc| D0n  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 ITQA0PI SL  
    −非序列追迹的通道设置[用例] eIF5ZPSZi  
    •使用参数运行检查影响/变化 f)rq%N &  
    −参数运行文档的使用[用例] Ib!RD/  
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    VirtualLab Fusion技术 F;EwQjTF  
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