摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
] S0tK g$/C-j4A[ {u}d`%_.M gI T3A*x 建模任务
3*(w=;y C}'Tmi l@W1bS 仿真干涉条纹
kO3N.t@n (_0r'{` /}\Uw 走进VirtualLab Fusion
`*Ju0)g1 ?+P D?c7 N\{{:<Cp\ F`Ld
WA VirtualLab Fusion中的工作流程
%|izt/B ^{}$o#iof •设置输入场
-bP_jIZF;g −基本光源
模型[教程视频]
TC* 78;r •使用导入的数据自定义表面轮廓
H13kNhV9 •定义元件的位置和方向
hU|TP3* − LPD II:位置和方向[教程视频]
Pd8zdzf{ •正确设置通道以进行非
序列追迹
fbrCl!%P −非序列追迹的通道设置[用例]
3;%dn\
D •使用
参数运行检查影响/变化
a%YohfsY?U −参数运行文档的使用[用例]
'eYM;\%(' h_y;NB(w o"gtWAGH X,mqQ7+ VirtualLab Fusion技术
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