摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
d)V"tSC, 'EF\=o)^Y
QP+zGXd}( M#v#3:&5 建模任务
Yr9>ATR BI9~%dm NpS*]vSO 仿真干涉条纹
-9Iz$(>a MF+J3) ,PG d 走进VirtualLab Fusion
'n'83d)z (dSf>p r2
u$T`Bn bcgh}D VirtualLab Fusion中的工作流程
CH
|A^!Zm z}XmRc_Ko •设置输入场
X6_m&~}15 −基本光源
模型[教程视频]
Q_p!;3 •使用导入的数据自定义表面轮廓
UsT+o •定义元件的位置和方向
H)XHlO^ − LPD II:位置和方向[教程视频]
f-at@C1L%L •正确设置通道以进行非
序列追迹
@8[3]< −非序列追迹的通道设置[用例]
Obl']Hr{y9 •使用
参数运行检查影响/变化
(e>.hfrs −参数运行文档的使用[用例]
'G3;!xk$ UzLe#3MU
c;M7[y& <@;Y.76~ VirtualLab Fusion技术
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