[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 kH eD(Ea  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 |HycBTN#E  
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建模任务 D`p2aeI  
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仿真干涉条纹 4mDHAR%D  
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走进VirtualLab Fusion (2;Aqx5i  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 vFe=AY<Rt|  
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•设置输入场 &}u_e`A  
−基本光源模型[教程视频] 4BMu0["6|s  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 &u:U"j  
•定义元件的位置和方向 K}cZK  
− LPD II：位置和方向[教程视频] :$G^TD/n  
•正确设置通道以进行非序列追迹 }@bp v  
−非序列追迹的通道设置[用例] (')t>B1Z  
•使用参数运行检查影响/变化 I%4eX0QY=z  
−参数运行文档的使用[用例] oc"p5Y3,Os  
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