摘要
GAz;4pUZ nFxogCn 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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F#B#9 q#MAA_ 建模任务
{^$rmwN 7!L"ef62o Z\LW<**b 仿真干涉条纹
^Z\1z!{R kO/dZ%vj *-` /A 走进VirtualLab Fusion
VI37 w[]7{D];
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|Q8q $yc&f(Tv VirtualLab Fusion中的工作流程
|bB..b |A0kbC. •设置输入场
qj=12; −基本光源
模型[教程视频]
IvH0sS`F •使用导入的数据自定义表面轮廓
~TurYvf •定义元件的位置和方向
!k%Vw18 − LPD II:位置和方向[教程视频]
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sT=>\ •正确设置通道以进行非
序列追迹
B#sc!eLmU& −非序列追迹的通道设置[用例]
[R& P.E7w' •使用
参数运行检查影响/变化
2nOQ48haT −参数运行文档的使用[用例]
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h*d&2>"0m? &5C%5C~ch VirtualLab Fusion技术
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