[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 W]D+[mpgK  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 z3M6<.K  
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建模任务 JmuoYlf|  
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仿真干涉条纹 &-KQ m20n  
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走进VirtualLab Fusion i x_a  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 /+m7
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•设置输入场 RPkOtRKL=w  
−基本光源模型[教程视频] 5 HN,y  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 _:Ov-HIR  
•定义元件的位置和方向 ah!fQLMH  
− LPD II：位置和方向[教程视频] `n
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•正确设置通道以进行非序列追迹 OQ _wsAA  
−非序列追迹的通道设置[用例] +}C M2>M  
•使用参数运行检查影响/变化 mnH1-}oL  
−参数运行文档的使用[用例] C7!=LiK}  
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VirtualLab Fusion技术 P#2;1ki>  
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