[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 U$09p;~$Ww  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ?d,M.o{0]  
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建模任务 )8]3kQffJ=  
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仿真干涉条纹 (olLB  
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走进VirtualLab Fusion i"fCpkAP  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 g`.{K"N>!  
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•设置输入场 2b~ HHVruX  
−基本光源模型[教程视频] ywe5tU  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 7A[Ogro  
•定义元件的位置和方向 "<T ~jk"u  
− LPD II：位置和方向[教程视频]  mc~`  
•正确设置通道以进行非序列追迹 U>1b9G"_  
−非序列追迹的通道设置[用例] }2mI*"%)\u  
•使用参数运行检查影响/变化 E7gL
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−参数运行文档的使用[用例] +|M{I= 8  
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