摘要
M3elog: M )3A+Ell` 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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o(/ }Ml BmD 建模任务
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"Io!{aKU KWeE!f 7G DE7y\oO] 仿真干涉条纹
$tF\7.e@ {0lu> ?< !Pz#czo 走进VirtualLab Fusion
U.V/JbXX c#CV5J\Kk3 
m,"-/) +=Q:g,kP VirtualLab Fusion中的工作流程
R :(i}g<3 BQ<\[H; •设置输入场
|'&$VzA −基本光源
模型[教程视频]
o=#ym4hJ% •使用导入的数据自定义表面轮廓
+ *xc4 •定义元件的位置和方向
Q=> 5@sZB − LPD II：位置和方向[教程视频]
~ o2Z5,H •正确设置通道以进行非
序列追迹
kGs\"zZM −非序列追迹的通道设置[用例]
E|>-7k") •使用
参数运行检查影响/变化
j!kJ@l bP −参数运行文档的使用[用例]
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x_I*6? Sk"hqF.2 VirtualLab Fusion技术
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