[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 y>YQx\mK
 
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ,KyG^;Riy  
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走进VirtualLab Fusion R@[gkj  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 )=]u]7p}  
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•设置输入场 <<5x"W(,  
−基本光源模型[教程视频] e"@Ag:r@a  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Z;qgB7-M  
•定义元件的位置和方向 e*?
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− LPD II：位置和方向[教程视频] 41Nm+$m  
•正确设置通道以进行非序列追迹 {dF_=`.  
−非序列追迹的通道设置[用例] &u}]3E'-k  
•使用参数运行检查影响/变化 {I:nza  
−参数运行文档的使用[用例] 3
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