[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 m"x~Fjvd  
S~6<'N&[  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 UBC[5E$  
h Qu9ux  
fG,qax`:c  
B0R[f  
建模任务 &G<ZK9Ot}0  
Z6h.gaQ7 H  
M $e~Rlw  
仿真干涉条纹 a~XNRAh  
2_F`ILCML  
h{PLyWH  
走进VirtualLab Fusion m,up37-{  
f"-<Z_  
6#{= E@  
7B&nV92S  
VirtualLab Fusion中的工作流程 1km=9[;w'  
&F.lo9JJ  
•设置输入场 {L4^IKI  
−基本光源模型[教程视频] d[$1:V  
•使用导入的数据自定义表面轮廓  K8ThZY%  
•定义元件的位置和方向 0q`'65 lx  
− LPD II：位置和方向[教程视频] R9#Z=f,  
•正确设置通道以进行非序列追迹 BC4u,4S  
−非序列追迹的通道设置[用例] &12aI|u^<  
•使用参数运行检查影响/变化 <M\Z}2d  
−参数运行文档的使用[用例] ekAGzu  
vNtbb]')m  
%pg*oX1VK6  
?xG #4P<C=  
VirtualLab Fusion技术 Wq>j;\3b3  
U`8)rtYw