[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 ksR1kvTm  
w(d>HHg  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 >ezi3Zx^  
_Xcn N:Rt  

图片:1-191209152110491.png

N5zlT  
d(`AXyw  
建模任务 9O*_L:4o  
*LC+ PZV@  
(@0O  
仿真干涉条纹 SGc8^%-`  
RJeDE
YXeg  
u+t$l^S  
走进VirtualLab Fusion E.bi05l  
t(!r8!c u}  

图片:1-191209152K5539.png

_6@hTen`  
58xnB!h\}  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ti5HrKIw  

_jU5O;  
•设置输入场 V%0I%\0Y  
−基本光源模型[教程视频] B?rSjdY4  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 e-hjC6Q U  
•定义元件的位置和方向 T'-FV  
− LPD II：位置和方向[教程视频] Z;Rp+X  
•正确设置通道以进行非序列追迹 2S3lsp5!  
−非序列追迹的通道设置[用例] R8ONcG  
•使用参数运行检查影响/变化 C#V ~Y  
−参数运行文档的使用[用例] <bck~E  
3-n19[zk  

图片:1-191209152Tb56.png

:wqC8&V  
6M.;@t,Y  
VirtualLab Fusion技术 LA3<=R]  
Q?t^@