摘要
N y\c>$z T~238C{vh 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
(Ov{gj^ {hXIP` NB["U"1[^E ~)ZMGx 建模任务
THQd`Lj )YKnFSm 9i&(VzY[= 仿真干涉条纹
fku\O<1 )r9lT*z D.Q9fa&P 走进VirtualLab Fusion
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,%IZ. 3y[uH' VirtualLab Fusion中的工作流程
e(5:XHe ?)Psf/ •设置输入场
xla64Qld −基本光源
模型[教程视频]
sQ)D.9\~ •使用导入的数据自定义表面轮廓
B"07:sO •定义元件的位置和方向
0ESxsba − LPD II:位置和方向[教程视频]
3? R56$-+ •正确设置通道以进行非
序列追迹
9*thqs3J#d −非序列追迹的通道设置[用例]
b`lLqV<[cB •使用
参数运行检查影响/变化
Y<x;-8)* −参数运行文档的使用[用例]
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